特許
J-GLOBAL ID：200903018794649148

電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者：
高木 成宣

高木 成宣 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (1件)： 豊栖 康司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-108931
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303566
出願日： 2002年04月11日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 電子顕微鏡の操作に詳しくない者でも操作できるように、操作手順の誘導機能を提供する。【解決手段】 電子顕微鏡は、所定の像観察条件に基づいて電子を試料に照射し、二次電子または反射電子を検出することで、試料の所望の位置を所望の観察倍率にて像観察することが可能である。電子顕微鏡は像観察条件を設定する画面である第1像観察モード画面において、少なくとも試料の特性を設定可能な第1像観察モード設定手段と、第1像観察モード設定手段によって設定された条件に基づいて、試料の観察像を表示可能な第1表示部と、第1像観察モード設定手段によって設定された条件に基づいて、少なくとも2種類の像観察条件で、試料の観察像群を1以上の二次電子像または1以上の反射電子像として表示可能な第2表示部と、第2表示部で表示される観察像群から所望の観察像を選択する選択手段とを備える。
請求項（抜粋）：
所定の像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子を試料に対して照射し、1以上の検出器で二次電子または反射電子を検出することで、試料の所望の位置を所望の観察倍率にて像観察可能な電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡は像観察条件を設定する画面である第1像観察モード画面において、少なくとも試料の特性を設定可能な第1像観察モード設定手段と、前記第1像観察モード設定手段によって設定された条件に基づいて、試料の観察像を表示可能な第1表示部と、前記第1像観察モード設定手段によって設定された条件に基づいて、少なくとも2種類の像観察条件で、試料の観察像群を1以上の二次電子像または1以上の反射電子像として表示可能な第2表示部と、前記第2表示部で表示される観察像群から所望の観察像を選択する選択手段と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22
FI (3件)：
H01J 37/28 B ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/22 502 D
Fターム (2件)：
5C033UU06 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (14件)
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