特許
J-GLOBAL ID：200903019302177285
感深紫外線性樹脂組成物
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304601
公開番号（公開出願番号）：特開平11-143072
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 半導体集積回路等の回路パターン形成材料として好適な、さらには層間絶縁膜、カラーフィルター用保護膜などの永久膜形成材料としても好適な感深紫外線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A](a-1)不飽和カルボン酸、(a-2)エポキシ基を含有するラジカル重合性化合物および必要に応じて(a-3)上記化合物(a-1)および(a-2)と共重合しうる他のラジカル重合性化合物の共重合体並びに[B]密着助剤を含有する感深紫外線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
[A](a-1)不飽和カルボン酸、(a-2)エポキシ基を含有するラジカル重合性化合物および必要に応じて(a-3)上記化合物(a-1)および(a-2)と共重合しうる他のラジカル重合性化合物の共重合体並びに[B]密着助剤を含有することを特徴とする感深紫外線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/038 503
, G03F 7/038 505
, C08F 2/48
, G03F 7/027 502
, G03F 7/085
, C09D 4/00
G03F 7/038 503
, G03F 7/038 505
, C08F 2/48
, G03F 7/027 502
, G03F 7/085
, C09D 4/00
