特許
J-GLOBAL ID:200903022742335592
発光素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-045505
公開番号(公開出願番号):特開2001-237460
出願日: 2000年02月23日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 ZnOを活性層として用い、全酸化物半導体ヘテロ構造からなるpn接合を有する紫外域、可視域の発光素子を提供する。【解決手段】 サファイア基板1の(0001)面上に、n型Zn0.8Mg0.2O層2を形成し、n型Zn0.8Mg0.2O層2の上に選択的にn型ZnO層3を形成し、n型ZnO層3の上にp型Zn0.75Ni0.25O層4を形成し、露出されたn型Zn0.8Mg0.2O層2の上およびp型Zn0.75Ni0.25O層4の上に、それぞれAuからなるオーミック電極5、6を形成することにより、ダブルヘテロ構造によるpn接合が形成でき紫外域の発光素子を実現できる。
請求項(抜粋):
活性層となるZnO層が、一導電型のZnMgO層および前記ZnMgO層とは逆の導電型のZnNiO層との間に形成されていることを特徴とする発光素子。
FI (3件):
H01L 33/00 D
, H01L 33/00 C
, H01L 33/00 F
Fターム (12件):
5F041AA03
, 5F041AA11
, 5F041AA12
, 5F041CA04
, 5F041CA34
, 5F041CA40
, 5F041CA41
, 5F041CA46
, 5F041CA50
, 5F041CA57
, 5F041CA66
, 5F041CA73
引用特許:
引用文献:
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