特許
J-GLOBAL ID:200903022885934128
半導体装置およびその作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-305084
公開番号(公開出願番号):特開2004-140267
出願日: 2002年10月18日
公開日(公表日): 2004年05月13日
要約:
【課題】水分や酸素の透過による劣化を抑えることが可能な半導体装置、例えば、プラスチック基板上に形成された有機発光素子を有する発光装置、プラスチック基板を用いた液晶表示装置の提供を課題とする。【解決手段】本発明は、ガラス基板または石英基板上に形成した素子(TFTや、有機化合物を含む発光素子や、液晶を有する素子や、メモリー素子や、薄膜ダイオードや、シリコンのPIN接合からなる光電変換素子や、シリコン抵抗素子など)を含む被剥離層12を基板から剥離した後、熱伝導性の高いプラスチック基板10に転写する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
熱伝導性を有するプラスチック基板またはプラスチック基材を支持体とし、
前記プラスチック基板に接する接着材と、
該接着材に接する絶縁膜上に素子とを備えたことを特徴とする半導体装置。
IPC (11件):
H01L27/12
, G02F1/1333
, G02F1/1368
, G09F9/00
, G09F9/30
, H01L21/336
, H01L29/786
, H05B33/02
, H05B33/04
, H05B33/10
, H05B33/14
FI (12件):
H01L27/12 B
, G02F1/1333 500
, G02F1/1368
, G09F9/00 342Z
, G09F9/30 310
, H05B33/02
, H05B33/04
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, H05B33/14 Z
, H01L29/78 626C
, H01L29/78 627D
Fターム (139件):
2H090HB03X
, 2H090HB04X
, 2H090HB06X
, 2H090HB13X
, 2H090HC05
, 2H090HC12
, 2H090HD08
, 2H090JA07
, 2H090JB02
, 2H090JB03
, 2H090JB04
, 2H090JD11
, 2H090JD12
, 2H090JD19
, 2H090LA04
, 2H092GA50
, 2H092GA59
, 2H092GA60
, 2H092JA25
, 2H092JA26
, 2H092JA40
, 2H092JA47
, 2H092JB42
, 2H092JB61
, 2H092KA04
, 2H092KA05
, 2H092KA10
, 2H092KA18
, 2H092KB24
, 2H092KB25
, 2H092MA04
, 2H092MA05
, 2H092MA08
, 2H092MA10
, 2H092MA13
, 2H092MA14
, 2H092MA17
, 2H092MA20
, 2H092MA27
, 2H092MA29
, 2H092MA30
, 2H092MA31
, 2H092MA41
, 2H092NA18
, 2H092NA25
, 2H092PA01
, 3K007AB11
, 3K007AB12
, 3K007AB13
, 3K007AB14
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007BA07
, 3K007BB01
, 3K007BB02
, 3K007CA06
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 3K007FA00
, 3K007FA02
, 5C094AA38
, 5C094AA43
, 5C094BA03
, 5C094BA27
, 5C094BA43
, 5C094DA09
, 5C094DA13
, 5C094EB02
, 5C094FA02
, 5C094FB01
, 5C094FB02
, 5C094FB20
, 5C094GB10
, 5C094HA06
, 5C094HA07
, 5C094HA08
, 5F110AA30
, 5F110BB02
, 5F110BB04
, 5F110CC02
, 5F110CC05
, 5F110CC07
, 5F110DD01
, 5F110DD06
, 5F110DD12
, 5F110DD14
, 5F110DD15
, 5F110DD17
, 5F110EE01
, 5F110EE02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE05
, 5F110EE06
, 5F110EE14
, 5F110EE23
, 5F110FF04
, 5F110FF30
, 5F110FF35
, 5F110GG02
, 5F110GG13
, 5F110GG25
, 5F110GG45
, 5F110HJ01
, 5F110HJ04
, 5F110HJ07
, 5F110HJ12
, 5F110HJ13
, 5F110HJ23
, 5F110HL03
, 5F110HL04
, 5F110HM15
, 5F110NN03
, 5F110NN23
, 5F110NN27
, 5F110NN35
, 5F110NN72
, 5F110PP03
, 5F110PP05
, 5F110PP10
, 5F110PP13
, 5F110PP29
, 5F110PP34
, 5F110PP35
, 5F110QQ11
, 5F110QQ16
, 5F110QQ28
, 5G435AA13
, 5G435BB05
, 5G435BB12
, 5G435EE37
, 5G435FF11
, 5G435HH14
, 5G435HH18
, 5G435KK05
, 5G435KK09
, 5G435LL04
, 5G435LL07
, 5G435LL08
引用特許:
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