特許
J-GLOBAL ID：200903023081803744

電子放出分布測定装置

発明者：
佐々木 正洋

佐々木 正洋 について

, 
佐藤 貴伸

佐藤 貴伸 について

, 
才田 守彦

才田 守彦 について


出願人/特許権者：
国立大学法人 筑波大学

国立大学法人 筑波大学 について


代理人 (1件)： 光田 敦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-270889
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078660
出願日： 2005年09月16日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】走査型トンネル顕微鏡などにおいて、高分解能電子放出分布の測定も可能な電子放出分布測定装置測定方法を実現する。【解決手段】 探針6と、探針6を試料7に対して移動させるピエゾ素子と、試料7にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加回路と、探針6と試料7との間を流れるトンネル電流を電圧変換するプリアンプ10と、プリアンプ10の出力側に順次設けられたSTM制御回路3と、を備えており、プリアンプ10とSTM制御回路3との間にサンプルホールド回路22を設け、STM像を計測(作成)するとともに、電子放出分布像を計測(作成)する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
探針と、該探針を試料に対して移動させるピエゾ素子と、前記試料にバイアス電圧を印加するバイアス電圧印加回路と、前記探針と前記試料との間を流れる電流を電圧変換するプリアンプと、該プリアンプの出力側に順次設けられたSTM制御回路と、を備えた走査型トンネル顕微鏡において、前記プリアンプとSTM制御回路との間にサンプルホールド回路を設けてなることを特徴とする電子放出分布測定装置。
IPC (3件)：
G01N 13/12 ,  G01N 13/10 ,  G01B 7/34
FI (4件)：
G01N13/12 A ,  G01N13/10 F ,  G01N13/10 E ,  G01B7/34 P
Fターム (7件)：
2F063AA43 ,  2F063DA01 ,  2F063DA06 ,  2F063EA16 ,  2F063EB23 ,  2F063LA29 ,  2F063ZA05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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