特許
J-GLOBAL ID：200903025531394176
光学素子のパターニング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
林 信之
, 安彦 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-133282
公開番号（公開出願番号）：特開2009-282234
出願日： 2008年05月21日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】光学素子の表面形状に依存することなく、しかも低コスト、小電力でしかも短時間で、光学素子表面に形成されたナノオーダの凹凸をエッチングして平滑化する。【解決手段】イオンが予め打ち込まれて異屈折率領域61を点在させた光学素子2を原料ガス雰囲気中に配置し、原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上の光を光学素子2に照射することにより、異屈折率領域61に発生させた近接場光に基づいて原料ガスを解離させて選択的にエッチングし、また異屈折率領域61に発生させた近接場光に基づいて温度上昇を起こさせることにより脈理を除去する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
イオンが予め打ち込まれて異屈折率領域を点在させた光学素子を原料ガス雰囲気中に配置し、
上記原料ガスを構成するガス分子の吸収端波長以上の光を上記光学素子に照射することにより、上記異屈折率領域に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて選択的にエッチングすること
を特徴とする光学素子のパターニング方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, G02B3/00 Z
2H097AA20
, 2H097CA12
, 2H097LA15
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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