特許
J-GLOBAL ID：200903025873939557

化学増幅ポジ型レジスト材料

発明者：
畠山 潤

畠山 潤 について

, 
竹村 勝也

竹村 勝也 について

, 
名倉 茂広

名倉 茂広 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185812
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015163
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【解決手段】 常圧760mmHgでの沸点が180°C以上のアルコール化合物を含む化学増幅ポジ型レジスト材料。【効果】 本発明のレジスト材料は、PEBの雰囲気が空気気流中であっても、乾燥空気或いは乾燥窒素気流中であっても、良好にパターン形成することができる。
請求項（抜粋）：
常圧760mmHgでの沸点が180°C以上のアルコール化合物を含む化学増幅ポジ型レジスト材料。
IPC (5件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許：
審査官引用 (12件)
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