製造装置、発光装置、および有機化合物を含む層の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-304398
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111386
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】本発明は、EL材料の利用効率を高め、且つ、EL層成膜の均一性やスループットの優れた成膜装置の一つである蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。【解決手段】本発明は、蒸着室内において、蒸着材料が封入された容器911を6個設置した蒸着源ホルダ903が、基板に対してあるピッチで移動しながら蒸着を行うことを特徴とする。また、蒸着ホルダ903には搬送機構902bにより設置室905から搬送する。回転台907はヒーターを内蔵しており、蒸着ホルダ903に搬送する前に加熱しておくことでスループットを向上させることができる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ロード室、該ロード室に連結された搬送室、及び該搬送室に連結された複数の成膜室と、該成膜室に連結された設置室を有する製造装置であって、前記複数の成膜室は、前記成膜室内を真空にする第1の真空排気処理室と連結され、マスクと基板の位置あわせを行うアライメント手段と、基板保持手段と、前記蒸着源ホルダを移動させる手段と、前記蒸着源ホルダは蒸着材料が封入された容器と、前記容器を加熱する手段と、前記容器上に設けられたシャッターと、を有し、前記設置室は、前記設置室内を真空にする第2の真空排気処理室と連結され、前記設置室には容器を加熱する手段と、前記成膜室内の前記蒸着源ホルダに前記容器を搬送する手段とを有することを特徴とする製造装置。

IPC (4件)：

H05B33/10 , C23C14/24 , H05B33/04 , H05B33/14

FI (4件)：

H05B33/10 , C23C14/24 C , H05B33/04 , H05B33/14 A

Fターム (24件)：

3K007AB11 , 3K007AB13 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007BB02 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 4K029AA24 , 4K029BA34 , 4K029BA41 , 4K029BA46 , 4K029BA58 , 4K029BA62 , 4K029BB02 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029CA15 , 4K029DA12 , 4K029DB14 , 4K029DB18 , 4K029HA01 , 4K029KA09

引用特許：

出願人引用 (9件)

成膜装置及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-394259 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
成膜装置およびそのクリーニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-128812 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
特開平3-062515

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審査官引用 (9件)

成膜装置及び成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-394259 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
有機薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-019292 出願人：アネルバ株式会社
真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-237206 出願人：石川島播磨重工業株式会社

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