特許
J-GLOBAL ID:200903027980028977

異方形状シリカゾルの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 政久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-351259
公開番号(公開出願番号):特開2007-153671
出願日: 2005年12月05日
公開日(公表日): 2007年06月21日
要約:
【課題】 研磨材として好適な異方形状シリカゾルおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 水溶性珪酸塩の水溶液に対して珪酸液を添加して、SiO2/M2O[Mはアルカリ金属、第3級アンモニウム、第4級アンモニウムまたはグアニジンから選ばれる](モル比)が30〜65の範囲の混合液を調製し、該混合液に60〜200°Cの温度で、再度珪酸液を断続的または連続的に添加することによりシリカゾルを調製し、該シリカゾルをpH7〜9の範囲にて、60〜98°Cで加熱する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
水溶性珪酸塩の水溶液に対して珪酸液を添加して、SiO2/M2O[Mはアルカリ金属、第3級アンモニウム、第4級アンモニウムまたはグアニジンから選ばれる](モル比)が30〜65の範囲の混合液を調製し、該混合液に60〜200°Cの温度で、再度珪酸液を断続的または連続的に添加することによりシリカゾルを調製し、該シリカゾルをpH7〜9の範囲にて、60〜98°Cで加熱することを特徴とする異方形状シリカゾルの製造方法。
IPC (3件):
C01B 33/143 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (4件):
C01B33/143 ,  B24B37/00 H ,  H01L21/304 622B ,  H01L21/304 622D
Fターム (23件):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB02 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4G072AA25 ,  4G072AA28 ,  4G072BB05 ,  4G072CC01 ,  4G072DD06 ,  4G072DD07 ,  4G072EE01 ,  4G072GG03 ,  4G072HH22 ,  4G072HH24 ,  4G072HH28 ,  4G072LL06 ,  4G072PP01 ,  4G072SS02 ,  4G072SS11 ,  4G072TT01 ,  4G072UU30
引用特許:
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (2件)

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