塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルタの製造方法およびその製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伴俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-183051
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001195
出願日： 2000年06月19日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】基板の隆起部分や基板表面上の異物を検知した時に、基板の移動を強制停止して稼働時間や生産のロスを起こすことなく、塗布器と基板の隆起部分や表面上の異物との接触を回避することが可能で、さらに検知を基板や検知部材に破損を与えないで行なうことにより、生産性、稼働率向上によるコスト低減が可能な塗布方法及び塗布装置、並びにこれら装置及び方法を使用したカラーフィルタの製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】塗布器の吐出口を被塗布部材に一定間隙まで近接させ、塗布器の吐出口から塗布液を被塗布部材に吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材に塗膜を形成する塗布方法において、あらかじめ被塗布部材表面の隆起部分または被塗布部材上の異物を検出し、該隆起部分または異物が塗布器に接触する前に、塗布器を退避させることを特徴とする塗布方法、及び塗布装置、並びにこれらを用いたカラーフィルタの製造方法および製造装置。

請求項（抜粋）：

塗布器の吐出口を被塗布部材に一定間隙まで近接させ、塗布器の吐出口から塗布液を被塗布部材に吐出しながら、前記塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材に塗膜を形成する塗布方法において、あらかじめ被塗布部材表面の隆起部分または被塗布部材上の異物を検出し、該隆起部分または異物が塗布器に接触する前に、塗布器を退避させることを特徴とする塗布方法。

IPC (6件)：

B05C 5/02 , B05C 11/10 , B05D 1/26 , B05D 3/00 , B05D 7/00 , G02B 5/20 101

FI (6件)：

B05C 5/02 , B05C 11/10 , B05D 1/26 Z , B05D 3/00 D , B05D 7/00 H , G02B 5/20 101

Fターム (24件)：

2H048BA11 , 2H048BA43 , 2H048BA45 , 2H048BB14 , 2H048BB42 , 4D075AC04 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC22 , 4D075EA05 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA05 , 4F041BA22 , 4F041BA38 , 4F041BA56 , 4F042AA06 , 4F042BA08 , 4F042BA22 , 4F042BA25 , 4F042BA27

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平3-038272
特開昭60-157727
シートの異物検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-321377 出願人：王子化工株式会社

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