特許
J-GLOBAL ID：200903029766977158

液体の特性値を測定するための弾性表面波装置

発明者：
平野 恵弘

平野 恵弘 について


出願人/特許権者：
マルヤス工業株式会社

マルヤス工業株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷 照一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335812
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153781
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 液体の特性値を測定するための弾性表面波装置において、入出力電極と導電部材を液密に覆ってこれらとの間に空間を形成するカバーを設けることにより、確実かつ正確に液体の粘性率などを測定する。【解決手段】 弾性表面波装置40は、ベース41上に設けられ圧電基板43上に櫛歯状の入力電極44および出力電極45を弾性表面波の伝搬方向に沿って並設した弾性表面波デバイス42と、入力電極44および出力電極45からそれぞれ導出した複数の金属製の線材49a,49b,49c,49dからなる。ベース上面には、入力電極44と出力電極45との間のセンシング面43aを残して入力電極44、出力電極45および線材49a,49b,49c,49dを液密に覆ってこれらとの間に空間Sを形成するカバー50a,50bが設けられている。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に各一対の櫛歯状の入力電極および出力電極を弾性表面波の伝搬方向に沿って並設した弾性表面波デバイスと、前記各入力電極および前記各出力電極からそれぞれ導出した複数の導電部材からなる液体の特性値を測定するための弾性表面波装置において、前記入力電極と前記出力電極との間の所定領域を残して同入力電極、同出力電極および前記導電部材を液密に覆ってこれらとの間に空間を形成するカバーを設けたことを特徴とする液体の特性値を測定するための弾性表面波装置。
引用特許：
審査官引用 (17件)
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