特許
J-GLOBAL ID：200903029823903590
欠陥検出装置、欠陥検出方法、欠陥検出プログラム、及び、記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-150536
公開番号（公開出願番号）：特開2009-294170
出願日： 2008年06月09日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：
【課題】検出精度を犠牲にすることなく、検査時間の短縮を図った欠陥検出装置、及び、欠陥検出方法を実現する。【解決手段】 欠陥検出装置100は、評価対象物200を撮像して得られた複数の撮像画像を参照して高解像度化画像を生成する高解像度化処理部123と、高解像度化画像を参照して評価対象物200における欠陥を検出する欠陥検出処理部124とに加え、記録部121に記録された欠陥形状情報に基づいて、高解像度化画像を生成するために高解像度化処理部123が参照する撮像画像の枚数を設定する光学系制御部122を備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像画像の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成手段と、
上記生成手段により生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出手段と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定する設定手段と、
を備えていることを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G06T 1/00
G01N21/88 J
, G01M11/00 T
, G06T1/00 305A
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051CA04
, 2G051DA05
, 2G051EA09
, 2G051EB01
, 2G051EC03
, 2G051ED11
, 2G051ED21
, 2G051FA01
, 2G086EE10
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC01
, 5B057CD10
, 5B057CE08
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC22
, 5B057DC32
出願人引用 (2件)
審査官引用 (12件)
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