特許
J-GLOBAL ID：200903032503231381
微細化パターン形成用水溶性樹脂組成物およびこれを用いた微細パターン形成方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鐘尾 宏紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-120833
公開番号（公開出願番号）：特開2008-275995
出願日： 2007年05月01日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】レジストパターン上に水溶性樹脂組成物を用いて被覆層を形成し、ミキシングによりレジストパターンに隣接する該被覆層を変性させることによって、レジストパターン表面に水洗で除去出来ない変性層を形成し、これによりレジストパターンを太らせ、レジストパターンの分離サイズまたはホール開口サイズを実効的に露光波長の限界解像以下に微細化することのできる微細化パターン形成用水溶性樹脂組成物において、架橋剤を用いなくてもパターン縮小量が大きく、かつ不溶物による現像欠陥やマイクロブリッジなどの発生が低減された微細化パターン形成用水溶性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明の微細化パターン形成用水溶性樹脂組成物は、水溶性ビニル樹脂、分子内に少なくとも2個のアミノ基を有する化合物、溶剤および必要に応じ界面活性剤などの添加剤からなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(A)水溶性ビニル樹脂、(B)分子内に少なくとも2個のアミノ基を有する化合物、および(C)溶剤からなる微細化パターン形成用水溶性樹脂組成物。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F7/40 511
, H01L21/30 502R
, H01L21/30 570
2H096AA25
, 2H096BA09
, 2H096EA05
, 2H096EA23
, 2H096FA01
, 2H096GA08
, 2H096HA05
, 2H096JA04
, 5F046JA22
, 5F046LA18
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (3件)
前のページに戻る
