ワイヤソーおよびそれを用いたスラリーの再使用方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-036632
公開番号（公開出願番号）：特開2008-200772
出願日： 2007年02月16日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：

【課題】循環させて再使用されるスラリーへの切削屑の混入を極力防止することにより加工精度の向上を図るワイヤソーを提供すること。【解決手段】ワイヤソーは、ワイヤを回転駆動させるワイヤ駆動部と、砥粒を含むスラリーをワイヤに供給するスラリー供給部と、ワイヤの所定箇所にシリコンインゴットを押し当てて前記インゴットをスライスするインゴット押圧部とを備え、スラリー供給部は、ワイヤにスラリーを供給するスラリー循環経路と、シリコンインゴットの下方領域に配置され切削屑を含んで流れ落ちてくるスラリーを選択的に受け止める第1受皿と、ワイヤの駆動領域の下方に配置されワイヤから流れ落ちてくるスラリーを受け止める第2受皿とを有し、第2受皿はスラリー循環経路に接続されて前記循環経路の一部を構成し、第1受皿に受け止められたスラリーはスラリー循環経路へ戻されずに前記循環経路から除かれる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ワイヤを回転駆動させるワイヤ駆動部と、砥粒を含むスラリーをワイヤに供給するスラリー供給部と、ワイヤの所定箇所にシリコンインゴットを押し当てて前記インゴットをスライスするインゴット押圧部とを備え、スラリー供給部は、ワイヤにスラリーを供給するスラリー循環経路と、シリコンインゴットの下方領域に配置され切削屑を含んで流れ落ちてくるスラリーを選択的に受け止める第1受皿と、ワイヤの駆動領域の下方に配置されワイヤから流れ落ちてくるスラリーを受け止める第2受皿とを有し、第2受皿はスラリー循環経路に接続されて前記循環経路の一部を構成し、第1受皿に受け止められたスラリーはスラリー循環経路へ戻されずに前記循環経路から除かれるワイヤソー。

IPC (4件)：

B24B 27/06 , B28D 5/04 , H01L 21/304 , B24B 57/02

FI (4件)：

B24B27/06 D , B28D5/04 C , H01L21/304 611W , B24B57/02

Fターム (10件)：

3C047FF09 , 3C047GG14 , 3C047GG17 , 3C058DA03 , 3C069AA01 , 3C069BA06 , 3C069BC02 , 3C069CA04 , 3C069DA06 , 3C069EA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

シリコンインゴット切削用スラリー及びそれを用いるシリコンインゴットの切断方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-362465 出願人：三菱電機株式会社
シリコンの回収方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-096957 出願人：株式会社日平トヤマ

審査官引用 (6件)

インゴット切断方法およびインゴット切断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-022989 出願人：株式会社日立製作所
ワイヤソー
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-254805 出願人：株式会社日平トヤマ
固定砥粒ワイヤ工具のクリーニング方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-306299 出願人：株式会社リコー, 谷泰弘

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