特許
J-GLOBAL ID：200903033548205531
負荷不整合信頼性および安定性のあるVHFプラズマ処理のための方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 田中 克郎
, 大賀 眞司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-507297
公開番号（公開出願番号）：特表2005-527078
出願日： 2003年04月14日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
非線形負荷不整合状態に抵抗力のあるプラズマ処理システム用無線周波数(RF)発生器装置が提供される。この装置には、RF信号を発生するように構成されたRF発振器と、RF信号に応答し、プラズマチャンバ負荷を駆動するのに十分な電力を有するVHF・RF信号を生成するRF増幅器と、増幅器に結合され、プラズマチャンバ負荷の非線形性を増幅器から分離するように構成されたVHF帯サーキュレータとが含まれる。
請求項（抜粋）：
非線形負荷不整合状態に抵抗力のあるプラズマ処理システム用の無線周波数(RF)発生器装置であって、
RF信号を発生するように構成されたRF発振器と、
前記RF信号に応答し、プラズマチャンバ負荷を駆動するのに十分な電力を有するVHF・RF信号を生成するRF増幅器と、
前記増幅器に結合され、かつ前記プラズマチャンバ負荷の非線形性を前記RF増幅器から分離するように構成されたVHF帯サーキュレータと、
を含む装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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