特許
J-GLOBAL ID：200903034639278562

感光性組成物、該感光性組成物を用いたパターン形成方法及び該感光性組成物に於ける化合物

発明者：
和田 健二

和田 健二 について

, 
神田 博美

神田 博美 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-342811
公開番号（公開出願番号）：特開2007-199692
出願日： 2006年12月20日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：
【課題】通常露光及び液浸露光に於ける、露光ラチチュード、パターンプロファイルが改善され、且つEUV光露光に於ける、感度、溶解コントラストが改良された感光性組成物、感光性組成物を用いたパターン形成方法及び感光性組成物に於ける特定構造の化合物を提供する。【解決手段】特定構造の化合物を含有する感光性組成物、感光性組成物を用いたパターン形成方法及び感光性組成物に於ける特定構造の化合物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)活性光線又は放射線の照射により下記一般式(I)で表される有機酸を発生する化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C07C 309/80 ,  C07D 319/04
FI (5件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C07C309/80 ,  C07D319/04
Fターム (16件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CA48 ,  2H025CB41 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (3件)

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