特許
J-GLOBAL ID：200903035668589646

面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置

発明者：
佐藤 俊一

佐藤 俊一 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-122309
公開番号（公開出願番号）：特開2007-294744
出願日： 2006年04月26日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】熱干渉の増加を伴うことなく、複数の面発光レーザ素子を高密度に配置することができる面発光レーザアレイを提供する。【解決手段】各VCSELは、VCSEL以外の領域(外部領域)と、部分的に積層方向(X軸方向)に直交する方向にエピ部を介して繋がっており、従来の周囲を完全に溝で取り囲まれたメサ状のVCSELアレイに比較して、積層方向に直交する方向への放熱が大きくなり、各VCSELの温度上昇を低減することができる。また、1つのVCSELが複数の溝106で囲まれているので、1つの溝で囲まれている場合に比べて、エピ部を介して外部領域と繋がっている割合を高めることができる。しかも、隣接するVCSELとは1つの溝で分離されているので、高密度に配置することができるとともに、隣接するVCSELへの熱干渉はメサ状のアレイと同様に低く抑えることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
酸化可能層を含む複数の半導体層が基板上に積層されている積層体に、前記酸化可能層が部分的に酸化された電気的絶縁領域で囲まれた導電領域を有する複数の素子領域を二次元的に形成して、複数の面発光レーザ素子が集積されている面発光レーザアレイにおいて、 前記複数の素子領域における各素子領域の周囲には、前記基板に向かう方向を深さ方向とし、前記酸化可能層が内部側面に現れている少なくとも2つの凹部がそれぞれ設けられ、各凹部は、前記複数の素子領域における互いに近接する2つの素子領域の間にそれぞれ設けられていることを特徴とする面発光レーザアレイ。
IPC (3件)：
H01S 5/026 ,  H01S 5/183 ,  H01S 5/343
FI (3件)：
H01S5/026 610 ,  H01S5/183 ,  H01S5/343
Fターム (17件)：
5F173AC03 ,  5F173AC13 ,  5F173AC35 ,  5F173AC42 ,  5F173AC52 ,  5F173AD04 ,  5F173AF03 ,  5F173AF05 ,  5F173AF96 ,  5F173AH06 ,  5F173AP05 ,  5F173AP33 ,  5F173AP42 ,  5F173AP54 ,  5F173AP67 ,  5F173AP77 ,  5F173AR93
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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