光学素子、及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西山恵三 , 内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-102811
公開番号（公開出願番号）：特開2004-309766
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】酸化物系基板上に基板と膜剥がれのしにくい光学薄膜を成膜した光学素子を提供するものである。【解決手段】上記課題を解決するため、本発明の光学素子は、酸化物系の基板とフッ化物系薄膜との間に、酸化物系薄膜、もしくは酸化物系薄膜とフッ化物系薄膜の混合膜を少なくとも1層以上有することを特徴としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化物系の基板とフッ化物系薄膜との間に、酸化物系薄膜、もしくは酸化物系薄膜とフッ化物系薄膜の混合膜を少なくとも1層以上有することを特徴とする光学素子。

IPC (2件)：

G02B1/11 , G02B5/26

FI (2件)：

G02B1/10 A , G02B5/26

Fターム (15件)：

2H048FA05 , 2H048FA15 , 2H048FA24 , 2K009AA03 , 2K009BB01 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009DD03 , 4K029AA08 , 4K029BA42 , 4K029BA46 , 4K029BB02 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029DB18

引用特許：

審査官引用 (11件)

光学薄膜の製造方法および光学薄膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-102419 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭63-071801
多層膜反射ミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-269863 出願人：株式会社ニデック

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