特許
J-GLOBAL ID：200903037811623233

基板固定用チャックおよびこのチャックからの基板剥離方法

発明者：
芹川 祐二

芹川 祐二 について


出願人/特許権者：
新エスティーアイ テクノロジー株式会社

新エスティーアイ テクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-195597
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017550
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：
【要約】【課題】 基板に薄膜塗装をする際やレジスト材によって微細形状を形成する際、具体的には、例えば液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に、前記基板固定用のチャックから基板を剥離するときに、搬送エラーを起こしたり、基板が割れたりすることがなく、容易に基板を剥離できる基板固定用チャックおよびこのチャックからの基板剥離方法を提供することである。【解決手段】 基板71を載置するための基板保持部2aと、エアーを吸引することで前記基板71を吸着固定するために前記基板保持部2aに設けられた吸引部3aと、前記基板71を突き上げて前記基板保持部2aから基板71を剥離させるために基板保持部2aに設けられた突き上げピン4と、前記基板71の周縁のうち少なくとも一部が前記基板保持部2aの端部からはみ出すように載置され、この基板71のはみ出し部分を突き上げるために基板保持部2aの端部に隣接された突き上げ補助ピン6とを備える。
請求項（抜粋）：
基板を載置するための基板保持部と、エアーを吸引することで前記基板を吸着固定するために前記基板保持部に設けられた吸引部と、前記基板を突き上げて前記基板保持部から基板を剥離させるために基板保持部に設けられた突き上げピンと、前記基板の周縁のうち少なくとも一部が前記基板保持部の端部からはみ出すように載置され、この基板のはみ出し部分を突き上げるために基板保持部の端部に隣接された突き上げ補助ピンとを備えることを特徴とする基板固定用チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
H01L 21/68 P ,  G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 503 C
Fターム (11件)：
2H097DB14 ,  2H097JA01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F031CA05 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031MA26 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046JA10
引用特許：
審査官引用 (12件)
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