特許
J-GLOBAL ID：200903037951719249
試料の応力または歪みを測定する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩見 知典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-301271
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147607
出願日： 2006年11月07日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：
【課題】 紫外レーザ光を用いた近接場光利用紫外共鳴ラマン分光装置を用いてSiや多結晶Si 、GaN、ZnOなどの最先端材料とこれらを用いたデバイスの応力(歪み)分布をナノメータスケールの空間分解能や深さ分解能で検出する方法を提供すること。 【解決手段】以下の工程を含むことを特徴とする試料の応力または歪みを検出する方法。1)近接場プローブを有する顕微ラマン分光装置において、試料に対し電磁波を照射して、当該試料から発生した近接場共鳴ラマン散乱光を検出する工程。2)検出された近接場共鳴ラマン散乱光の波数シフト量から試料の応力又は歪みを算出する工程。 【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
以下の工程を含むことを特徴とする試料の応力または歪みを検出する方法。1)近接場プローブを有する顕微ラマン分光装置を使用して、試料に対し電磁波を照射して、当該試料から発生した近接場共鳴ラマン散乱光を検出する工程。
2)検出された近接場共鳴ラマン散乱光の波数シフト量から試料の応力又は歪みを算出する工程。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/14 A
, G01B11/16 Z
2F065AA65
, 2F065DD03
, 2F065FF00
, 2F065GG04
, 2F065GG21
, 2F065JJ02
, 2F065JJ03
, 2F065JJ25
, 2F065JJ26
, 2F065LL42
, 2F065LL67
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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引用文献：
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