特許
J-GLOBAL ID：200903041260162644
インピーダンス整合器の出力端特性解析方法、およびインピーダンス整合器、ならびにインピーダンス整合器の出力端特性解析システム
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
吉田 稔
, 田中 達也
, 福元 義和
, 仙波 司
, 塩谷 隆嗣
, 古澤 寛
, 筒井 雅人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-248824
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085446
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】出力端の電気的特性を高精度に解析できるインピーダンス整合器を提供する。【解決手段】入力端1aから入力されるRF電圧等を検出する入力側検出器2と、出力端1bから出力されるRF電圧を検出するRF電圧検出器4と、入力側検出器2の検出情報に基づき可変キャパシタVC3,VC4を調整することで入力端1aに接続される高周波電源と出力端1bに接続される負荷とのインピーダンスを整合させる制御部3とを備え、制御部3はEEPROM15に予め測定された可変キャパシタVC3,VC4の可変値に対する出力インピーダンスZoの関係を示す特性を記憶し、高周波電源と負荷との整合を行なうと、その時の可変キャパシタVC3,VC4の調整値とEEPROM15に記憶された特性とRF電力検出器4の検出値とに基づいて出力端1bにおける出力インピーダンスZo,RF電圧Vo,RF電流Ioなどの電気的特性を解析する機能を具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
入力端と出力端との間に少なくとも1の可変リアクタンス素子を含むリアクタンス回路からなり、前記可変リアクタンス素子の値を変化させることにより、前記入力端に接続される高周波電源と前記出力端に接続される負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス整合器の前記出力端における電気的特性を解析するインピーダンス整合器の出力端特性解析方法であって、
前記インピーダンス整合器の入力端に前記高周波電源を接続した状態と同一もしくは等価な状態で前記可変リアクタンス素子の可変値に対する前記インピーダンス整合器の出力端におけるインピーダンスに関する情報の関係を示すデータを予め取得しておき、
前記入力端に前記高周波電源を接続するとともに前記出力端に前記負荷を接続した状態で、前記高周波電源から前記入力端に入力される高周波電力の少なくとも電圧および電流を検出するとともに、前記出力端の高周波電圧及び高周波電流のいずれか一方を検出し、前記入力端の検出情報に基づいて前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値が前記高周波電源と前記負荷とのインピーダンスを整合させる値に調整されると、そのリアクタンス値と前記出力端の検出値と予め取得された前記データとに基づいて、前記インピーダンス整合器の出力端における電気的特性を解析することを特徴とする、インピーダンス整合器の出力端特性解析方法。
IPC (4件)：
G01R27/02
, G01R27/04
, H03H7/40
, H05H1/46
G01R27/02 A
, G01R27/04
, H03H7/40
, H05H1/46 R
2G028AA01
, 2G028BB07
, 2G028BB10
, 2G028CG08
, 2G028DH01
, 2G028DH05
, 2G028DH14
, 2G028FK01
, 2G028FK02
, 2G028FK09
, 2G028GL02
, 2G028GL09
, 2G028LR02
, 2G028LR07
