異物検査装置および異物検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-226226
公開番号（公開出願番号）：特開2007-040862
出願日： 2005年08月04日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】プロキシミティ露光を行う露光機で露光する前にカラーフィルタ形成用の基板上の未露光の着色層の異物を検知する異物検査装置で、未露光の着色層に影響しないように検査を行うことができ、且つ、製造ラインのレイアウトや機器構成にも制約を多く与えない異物検査装置を提供する。【解決手段】未露光の着色層を配設した基板を被検査基板として、被検査基板を水平状態で載置する載置台と、被検査基板の側面側に、未露光の着色層の所望の検査領域を、傾けた角度でレーザ光を照射する、1以上のレーザ光照射部と、被検査基板の前記未露光の着色層形成面と直交する方向、上側に配され、前記レーザ光照射部から照射されたレーザ光の、異物における散乱光を撮影し、前記検査領域全体にわたり、散乱光による撮影画像データを取得する、1以上の撮影手段と、前記各撮影手段にて取得された各撮影画像データを画像処理し、前記検査領域全体の、前記未露光の着色層における異物を抽出する画像処理部とを、備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の一面側に配設された、カラーフィルタを形成するための未露光の着色層に対し、プロキシミティ露光により転写用マスクの絵柄を転写露光する前に、その異物の検査を行う異物検査装置であって、前記未露光の着色層を配設した基板を被検査基板として、被検査基板を水平状態で載置する載置台と、被検査基板の側面側に、未露光の着色層の所望の検査領域を、傾けた角度でレーザ光を照射する、1以上のレーザ光照射部と、被検査基板の前記未露光の着色層形成面と直交する方向、上側に配され、前記レーザ光照射部から照射されたレーザ光の、異物における散乱光を撮影し、前記検査領域全体にわたり、散乱光による撮影画像データを取得する、1以上の撮影手段と、前記各撮影手段にて取得された各撮影画像データを画像処理し、前記検査領域全体の、前記未露光の着色層における異物を抽出する画像処理部とを、備えていることを特徴とする異物検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/958 , G01B 11/30 , G02B 5/20

FI (3件)：

G01N21/958 , G01B11/30 Z , G02B5/20 101

Fターム (32件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC17 , 2F065CC21 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG04 , 2F065GG14 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL19 , 2F065MM03 , 2F065QQ04 , 2F065QQ25 , 2G051AA73 , 2G051AB01 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051CD04 , 2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA42 , 2H048BB42

引用特許：

出願人引用 (1件)

ガラス基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-217790 出願人：大日本印刷株式会社

審査官引用 (13件)

X線露光方法、X線露光装置およびX線マスク
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-099328 出願人：三菱電機株式会社
紙葉類の真偽判定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-071694 出願人：三洋電機株式会社
組み合わせ式高速光学粗面計及び偏光解析器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-085531 出願人：キャンデラインストルメンツ

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