特許
J-GLOBAL ID:200903041727509953
ガス検知装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
政木 良文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-097061
公開番号(公開出願番号):特開2007-271441
出願日: 2006年03月31日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】 水素検知におけるメタンとの弁別性の向上を図り、高精度なメタン検知を可能とするガス検知装置を提供する。【解決手段】 金属酸化物半導体を主成分とするメタン及び水素に感応するセンサ素子を備えたセンサ部3と、センサ素子の温度が高温状態と低温状態間を周期的に遷移するように加熱制御を行う加熱制御部5と、センサ素子のセンサ抵抗を検出する抵抗検出部6aと、抵抗検出部6aの検出したセンサ抵抗に基づいて、メタンと水素の存在を各別に判定するガス判定部6bを備える。抵抗検出部6aが、センサ素子が高温状態にあるときの第1センサ抵抗を検出し、センサ素子が高温状態と低温状態の間を遷移している中間状態にあるときの第2センサ抵抗を検出する。ガス判定部6bが、第1センサ抵抗に基づいてメタンの存在判定を行い、第2センサ抵抗と第1センサ抵抗を比較した比較結果値に基づいて水素の存在判定を行う。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
金属酸化物半導体を主成分とする少なくともメタンと水素に感応して電気抵抗が変化するセンサ素子と、
前記センサ素子の温度が高温状態と低温状態間を周期的に遷移するように加熱制御を行う加熱制御部と、
前記センサ素子の電気抵抗値または当該電気抵抗値に換算可能な電気抵抗相当値で表されるセンサ抵抗を検出する抵抗検出部と、
前記抵抗検出部の検出した前記センサ抵抗に基づいて、メタンと水素の存在を各別に判定するガス判定部と、を備えてなるガス検知装置であって、
前記抵抗検出部は、前記加熱制御部による加熱制御により前記センサ素子が前記高温状態にあるときの前記センサ抵抗を第1センサ抵抗として検出し、前記加熱制御部による加熱制御により前記センサ素子が前記高温状態と前記低温状態の間を遷移している中間状態にあるときの前記センサ抵抗を第2センサ抵抗として検出し、
前記ガス判定部は、前記第1センサ抵抗に基づいてメタンの存在判定を行い、前記第2センサ抵抗と前記第1センサ抵抗を比較した比較結果値に基づいて水素の存在判定を行うことを特徴とするガス検知装置。
IPC (2件):
FI (3件):
G01N27/12 A
, G01N27/12 D
, G01N27/04 P
Fターム (18件):
2G046AA05
, 2G046AA11
, 2G046AA19
, 2G046BA01
, 2G046BA09
, 2G046DB07
, 2G046DC02
, 2G046DC09
, 2G046FB02
, 2G046FE38
, 2G060AA01
, 2G060AB03
, 2G060AB08
, 2G060AB17
, 2G060AE19
, 2G060AF07
, 2G060HC02
, 2G060HD07
引用特許:
出願人引用 (12件)
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ガス検出方法とその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-381053
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガス検出方法とその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-021923
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガス検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-198791
出願人:エフアイエス株式会社
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審査官引用 (10件)
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半導体式ガスセンサ、および半導体式ガスセンサを用いたガスの監視方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-372748
出願人:富士電機機器制御株式会社, 大阪瓦斯株式会社
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ガス検出方法とその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-037934
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガス検出方法とその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-381053
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガス検出方法とその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-021923
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガス検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-198791
出願人:エフアイエス株式会社
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特開昭62-238452
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ガス検出方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-126887
出願人:フィガロ技研株式会社
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ガス検知装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-097060
出願人:大阪瓦斯株式会社
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半導体ガスセンサの駆動方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-104157
出願人:大阪瓦斯株式会社, 富士電機ホールディングス株式会社
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ガス検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-082001
出願人:ダイキン工業株式会社
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