特許
J-GLOBAL ID：200903042828847325
薄膜ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-202546
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024508
出願日： 2005年07月12日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】 消費電力の増加を極力抑え、ガス感知層が温度により影響される事態を排するとともに目的ガスに感応するようにして、周囲環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。 【解決手段】 ガス感知層が目的ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して目的ガス濃度を算出し、また、ガス感知層が一酸化炭素ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して一酸化炭素ガス濃度を算出し、温度による影響を排した薄膜ガスセンサとした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
貫通孔を有するSi基板と、
この貫通孔の開口部に張られるダイアフラム様の熱絶縁支持層と、
熱絶縁支持層上に設けられるヒーター層と、
熱絶縁支持層およびヒーター層を覆うように設けられる電気絶縁層と、
電気絶縁層上に設けられる一対の感知層電極と、一対の感知層電極を渡されるように設けられる感知層と、感知層の表面に設けられ、第一の触媒を担持した焼結材の第一ガス選択燃焼層と、感知層と第一ガス選択燃焼層との間に設けられ、第二の触媒を含む薄膜半導体の第二ガス選択燃焼層と、を有するガス感知層と、
ヒーター層に接続される駆動部と、
ガス感知層に接続される処理部と、
を備え、駆動部は、
ガス感知層が目的ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動する目的ガス検知駆動手段と、
ガス感知層が一酸化炭素ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動する一酸化炭素ガス検知駆動手段と、
として機能し、
処理部は、
目的ガス検知温度駆動により温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して目的ガス濃度を算出する目的ガス濃度算出手段と、
一酸化炭素ガス検知温度駆動により温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して一酸化炭素ガス濃度を算出する一酸化炭素ガス濃度算出手段と、
として機能することを特徴とする薄膜ガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N27/12 A
, G01N27/12 B
2G046AA05
, 2G046AA11
, 2G046AA19
, 2G046BA01
, 2G046BA05
, 2G046BA06
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BD03
, 2G046BD04
, 2G046BD05
, 2G046BD06
, 2G046BE03
, 2G046DB01
, 2G046DB04
, 2G046DB07
, 2G046EA02
, 2G046EA09
, 2G046EA10
, 2G046EA11
, 2G046FB02
, 2G046FE03
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE36
, 2G046FE38
, 2G046FE39
出願人引用 (13件)
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半導体ガスセンサの駆動方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-075373
出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機株式会社
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ガス検出装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-369828
出願人：エフアイエス株式会社
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ガス検出器、及びガス検出方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-314844
出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機ホールディングス株式会社
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審査官引用 (13件)
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