特許
J-GLOBAL ID：200903045747904994
微細金属構造体とその製造方法、並びに微細金型とデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
作田 康夫
, 井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-431801
公開番号（公開出願番号）：特開2005-189128
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 表面に、高強度で精度が高くアスペクト比の大きな微小突起物を有する、微細金属構造体および前記微細構造体を欠陥無く製造する方法を提供すること。【解決手段】 表面に微小突起物を有する微細金属構造体にあって、微小突起物の最小厚みあるいは最小直径が10ナノメートルから10マイクロメートルであり、前記微小突起物の高さ(H)に対する、前記微小突起物の最小厚みあるいは最小直径(D)の比(H/D)が1より大きいことを特徴とする。また、表面に微細な凸凹パターンを有する基板の表面に、分子性無電解めっき触媒を付与し、その後に無電解めっきを施すことにより少なくとも前記凸凹パターンが充填された金属層を形成し、さらに、前記金属層を前記基板から剥離することにより前記凸凹パターンが反転転写された表面を有する微細金属構造体を得ることを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
表面に微小突起物を有する微細金属構造体にあって、厚みあるいは相当直径が10ナノメートルから10マイクロメートルであり、高さ(H)に対する、相当直径(D)の比
(H/D)が1より大きい微小突起物を有していることを特徴とする微細金属構造体。
IPC (6件)：
G01N33/53
, B82B3/00
, C12M1/00
, C12N15/09
, G01N37/00
, H01L21/027
G01N33/53 M
, B82B3/00
, C12M1/00 A
, G01N37/00 102
, C12N15/00 F
, H01L21/30 502D
4B024AA11
, 4B024AA19
, 4B024CA01
, 4B024CA09
, 4B024HA14
, 4B029AA07
, 4B029BB20
, 4B029CC03
, 4B029CC08
, 4B029FA15
, 5F046AA28
出願人引用 (16件)
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マイクロ構造物の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-119850
出願人：三井化学株式会社
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米国特許5,772,905号公報
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特許第2633088号公報
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審査官引用 (9件)
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特開昭58-217689
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特開昭58-217689
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選択的な無電解メッキの方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-275490
出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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引用文献：
出願人引用 (1件)
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マイクロマシン技術総覧, 20030122, p.365-371, p.700-702
審査官引用 (1件)
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マイクロマシン技術総覧, 20030122, p.365-371, p.700-702
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