特許
J-GLOBAL ID:200903047186509384
反応チャンバ及びこれを用いた誘電膜の形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
服部 雅紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-188982
公開番号(公開出願番号):特開2000-077397
出願日: 1999年07月02日
公開日(公表日): 2000年03月14日
要約:
【要約】【課題】 誘電膜の形成に必要なガス供給ライン中の1つが誘電膜のアニールに必要なアニールガスの供給ラインとしても用いられる反応チャンバ及びこれを用いた誘電膜の形成方法を提供する。【解決手段】 反応チャンバ40を用いて誘電膜の形成と形成された誘電膜のアニールとをインサイチュで実施する。これにより、誘電膜形成工程の工程時間を短縮して半導体装置の生産性を向上させるだけでなく、一つの反応チャンバ40で誘電膜の形成と誘電膜のアニーリングが行われることによって関連設備の体積を小さくし設備を単純化することができる。
請求項(抜粋):
天井にシャワーヘッドが備えられ、底上の前記シャワーヘッドの下に半導体基板がローディングされる半導体基板装着台が備えられ、前記半導体基板上に誘電膜を形成する反応チャンバにおいて、前記シャワーヘッドに第1ガス供給ライン及び第2ガス供給ラインが連結されており、前記第1ガス供給ラインは前記誘電膜のソースガスが供給されるラインであり、前記第2ガス供給ラインは前記誘電膜の反応ガス及び前記誘電膜のアニールガスが供給される少なくとも二種のガス供給に共同で使用されるラインであることを特徴とする反応チャンバ。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L 21/31 B
, H01L 21/316 X
引用特許:
出願人引用 (11件)
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誘電体薄膜のMOCVD方法およびアニール方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-338225
出願人:ソニー株式会社
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CVD薄膜形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-319842
出願人:大阪瓦斯株式会社
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オゾン分解器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-241778
出願人:株式会社島津製作所
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オゾン濃度制御方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-093902
出願人:日立電子エンジニアリング株式会社
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CVD装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-130604
出願人:アネルバ株式会社
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反応生成物の処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-083683
出願人:富士通株式会社
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化合物半導体気相成長装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-257892
出願人:シャープ株式会社
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特開平4-103766
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化学的気相成長法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-200357
出願人:日産自動車株式会社
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特開平3-049216
-
特開平2-283022
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審査官引用 (16件)
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誘電体薄膜のMOCVD方法およびアニール方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-338225
出願人:ソニー株式会社
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CVD薄膜形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-319842
出願人:大阪瓦斯株式会社
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オゾン分解器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-241778
出願人:株式会社島津製作所
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オゾン濃度制御方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-093902
出願人:日立電子エンジニアリング株式会社
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CVD装置及び方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-130604
出願人:アネルバ株式会社
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反応生成物の処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-083683
出願人:富士通株式会社
-
化合物半導体気相成長装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-257892
出願人:シャープ株式会社
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特開平4-103766
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化学的気相成長法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-200357
出願人:日産自動車株式会社
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特開平3-049216
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特開平2-283022
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特開平4-103766
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特開平3-049216
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特開平2-283022
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薄膜形成方法、半導体装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-067816
出願人:富士通株式会社
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Bi層状構造強誘電体薄膜の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-119350
出願人:松下電子工業株式会社, 株式会社高純度化学研究所, シンメトリックス・コーポレーション
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