基板洗浄装置における搬送機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武井秀彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-239454
公開番号（公開出願番号）：特開2000-058622
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ボックスキャリヤーに収納された基板を、同時に複数、迅速かつ安定して、基板裏面の汚染なしに取り出して洗浄槽等に搬送入、搬出して収納する搬送機構を提供すること。【解決手段】第1の搬送手段5は、基板1を複数枚同時に挟持し、回転治具25とボックスキャリヤー3との間を略水平面内で移送し、回転治具は、複数枚の基板を収容でき、かつ回転手段25aにより略水平方向から略垂直方向に、また略垂直方向から略水平方向に回転可能であり、第2の搬送手段は、回転治具が垂直方向を向いているときに、回転治具の頂部開口25bの上に昇降して一度にそこから基板を受け取り又はそこに基板を受け渡すことができるものであることを特徴とする基板洗浄乾燥装置における搬送機構。

請求項（抜粋）：

横向きに置かれたボックスキャリヤー(3)に収納された被洗浄物基板(1)を該ボックスキャリヤー(3)から洗浄槽(40)に搬送し、及び/又は、洗浄槽(40)からの基板(1)をボックスキャリヤー(3)に搬送して収納する搬送機構であって、該搬送機構は基板(1)を、回転治具(25)と前記ボックスキャリヤー(3)との間を搬送する第1の搬送手段(5)と、該回転治具(25)と前記洗浄槽(40)との間を搬送する第2の搬送手段(29)とを有し、前記第1の搬送手段(5)は、基板(1)を複数枚同時に挟持し、前記回転治具(25)と前記ボックスキャリヤー(3)との間を略水平面内で移送し、前記回転治具(25)は、複数枚の基板(1)を収容でき、かつ回転手段(25a)により略水平方向から略垂直方向に、また略垂直方向から略水平方向に回転可能であり、前記第2の搬送手段(29)は、前記回転治具(25)が垂直方向を向いているときに、該回転治具(25)の頂部開口(25b)の上に昇降して一度にそこから基板(1)を受け取り又はそこに基板(1)を受け渡すことができるものであることを特徴とする基板洗浄乾燥装置における搬送機構。

IPC (7件)：

H01L 21/68 , B08B 3/04 , B08B 3/08 , B08B 11/02 , B65G 1/00 535 , B65G 49/07 , H01L 21/304 648

FI (7件)：

H01L 21/68 A , B08B 3/04 Z , B08B 3/08 Z , B08B 11/02 , B65G 1/00 535 , B65G 49/07 L , H01L 21/304 648 B

Fターム (52件)：

3B116AA03 , 3B116AB03 , 3B116AB23 , 3B116AB44 , 3B116BB02 , 3B201AA03 , 3B201AB03 , 3B201AB23 , 3B201AB44 , 3B201BB02 , 3B201CB12 , 3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022CC02 , 3F022DD01 , 3F022DD03 , 3F022DD06 , 3F022EE05 , 3F022HH11 , 3F022KK02 , 3F022KK05 , 3F022KK12 , 3F022KK18 , 3F022NN05 , 3F022NN08 , 3F022NN12 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031FA19 , 5F031FA22 , 5F031FA24 , 5F031GA04 , 5F031GA06 , 5F031GA07 , 5F031GA10 , 5F031GA13 , 5F031GA14 , 5F031GA15 , 5F031GA32 , 5F031GA42 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031MA15 , 5F031MA23 , 5F031NA13 , 5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (10件)

基板の姿勢変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-252544 出願人：株式会社スガイ
基板移載装置およびそれを用いた基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-157930 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板保持装置および基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-349043 出願人：株式会社東芝

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