特許
J-GLOBAL ID：200903049640093883
粒子ビーム装置および粒子ビーム装置で使用するための方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：
鈴江 武彦
, 蔵田 昌俊
, 河野 哲
, 中村 誠
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 砂川 克
, 橋本 良郎
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-147292
公開番号（公開出願番号）：特開2008-305794
出願日： 2008年06月04日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】粒子ビーム装置と、この粒子ビーム装置に適用可能であり、試料を前処理するためのおよび/または試料を検査するための方法とを提供すること。【解決手段】この課題は、夫々1つの試料を受け取るための2つの受け取り部材(6,7)を具備し、受け取り部材が支持部材(5)に着脱自在に設けられていてなる粒子ビーム装置(1)によって解決される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光軸(8,8 ́,10)を有する少なくとも1つの粒子ビームコラム(3,4)と、
互いに直交した3つの空間方向(x,y,z)に可動に形成されており、前記光軸(8 ́)に平行に設けられているかこの光軸(8)に対応する第1の軸(8 ́)を中心としておよび前記光軸に直交した第2の軸(x)を中心として回転可能である少なくとも1つの支持部材(5)と、
第1の試料を受け取るための少なくとも1つの第1の受け取り部材(6)および第2の試料を受け取るための少なくとも1つの第2の受け取り部材(7)と、を具備し、
前記第1の受け取り部材(6)および前記第2の受け取り部材(7)は、前記支持部材(5)に設けられており、この支持部材(5)の動きは、常に、同一の空間方向(x,y,z)へのおよび/または同一の軸(8,8 ́,x)を中心とした、前記第1の受け取り部材(6)および前記第2の受け取り部材(7)の動きを規定し、
前記支持部材(5)は、少なくとも1つの第1の位置へおよび少なくとも1つの第2の位置へ可動であり、前記第1の位置で、前記第1の受け取り部材(6)にある第1の試料は、粒子ビームによって照射可能であり、前記第2の位置で、前記第2の受け取り部材(7)にある第2の試料は、粒子ビームによって照射可能であってなる粒子ビーム装置(1)。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5C001AA01
, 5C001AA05
, 5C001CC04
, 5C001CC07
, 5C001CC08
出願人引用 (3件)
-
DE 103 51 276 A1
-
US 6,963,068
-
EP 0 927 880 A1
審査官引用 (9件)
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