感光性樹脂組成物、硬化膜、パターン硬化膜の製造方法および電子部品

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-208715
公開番号（公開出願番号）：特開2008-033157
出願日： 2006年07月31日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】耐熱性、耐薬品性、耐水接着性を兼ね備え、かつ低い線熱膨張係数を有する硬化膜を形成することができ、感度、解像度に優れるばかりでなく、従来からのフォトレジストが有する前記問題点を解決し、しかも接着性、耐熱性に富んだ樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)、ポリイミドまたはポリイミド前駆体(B)、溶剤(C)および感光剤(D)を含有し、前記ポリイミドまたはポリイミド前駆体(B)は、その硬化膜の100°Cから200°Cにおける線熱膨張係数が25ppm/°C以下となる特性を有し、前記アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して、前記ポリイミドまたはポリイミド前駆体(B)が200〜25重量部配合されている樹脂組成物を用いる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)、ポリイミドまたはポリイミド前駆体(B)、溶剤(C)および感光剤(D)を含有する感光性樹脂組成物であって、前記ポリイミドまたはポリイミド前駆体(B)は、その硬化膜の100°Cから200°Cの硬化膜の線熱膨張係数が25ppm/°C以下となる特性を有し、前記アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部に対して200〜25重量部配合されていることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 , G03F 7/40 , H01L 21/027 , C08L 101/12 , C08L 79/08 , C08G 73/06

FI (6件)：

G03F7/023 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R , C08L101/12 , C08L79/08 Z , C08G73/06

Fターム (58件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB52 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096GA17 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J002CC04W , 4J002CC05W , 4J002CM02W , 4J002CM04W , 4J002CM04X , 4J002EQ016 , 4J002EQ036 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J002GQ01 , 4J002HA05 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA15 , 4J043PA19 , 4J043PC065 , 4J043PC066 , 4J043PC075 , 4J043PC076 , 4J043PC115 , 4J043PC116 , 4J043QB33 , 4J043QB34 , 4J043RA34 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043SA72 , 4J043TA12 , 4J043TA14 , 4J043TA32 , 4J043ZA23 , 4J043ZA46 , 4J043ZB47

引用特許：

出願人引用 (30件)

特開昭49-11541号公報
特開昭61-57620号公報
特開昭59-219330号公報

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審査官引用 (1件)

特開平4-284455

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