特許
J-GLOBAL ID：200903054104225754
探針の形状計測方法、試料の形状計測方法、及びプローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-228066
公開番号（公開出願番号）：特開2009-058473
出願日： 2007年09月03日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：
【課題】精度よく探針の形状を計測することができるようにする。【解決手段】プローブを基準試料の表面に対して走査させてAFM画像を取得し、AFM画像に対して傾斜補正を行い、基準試料を表わすAFM画像を取得する。そして、基準試料の頂面のエッジを抽出し、抽出されたエッジが表わす頂面の重心を算出して、算出した重心を、基準試料の頂面の中心として取得する。AFM画像から、プロファイルを表わす曲線を全周にわたって抽出し、抽出された曲線の端部が、頂面の中心に一致するように、曲線を平行移動する。これによって、基準試料の外形形状を表わすデータを差し引いて、基準試料の部分を除いて、プローブの外形形状を表わすAFM画像を取得する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
先鋭化した探針が端部に設けられたカンチレバーを含み、前記探針と試料の表面との間に原子間力が作用するように前記探針を前記試料の表面に対して走査して、前記試料の外形形状を計測するプローブ顕微鏡であって、
基準試料として円柱部材あるいは四角柱部材の一つあるいは二つ以上を設けたことを特徴とするプローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N13/10 111A
, G01N13/10 131
, G01N13/16 101
