特許
J-GLOBAL ID：200903055619003203
MEMSスイッチおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-364363
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173133
出願日： 2005年12月19日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】低電圧駆動が可能であり、且つスティックション・フェイルを減少させるMEMSスイッチおよびMEMSスイッチを製造する方法を提供する。【解決手段】開示されたマイクロスイッチは、基板と、基板上に形成されスイッチング接点部を有する複数の信号ラインと、基板上に形成され信号ラインとの間に形成された複数の固定電極と、基板上に所定の高さで突設された複数のアンカーと、アンカーに保持され上下遊動できるよう設けられ、同一平面上に設けられた少なくとも2つの作動ビームと、作動ビームを連結する連結ユニットと、連結ユニットを保持すべく基板に設けられた保持ユニットと、作動ビームの底面に設けられ、スイッチング接点部と接する接触部材とを含む。係る構成を介してスティックション・フェイルの発生を効率よく解消すると同時に低電圧の行動が可能になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に形成されスイッチング接点部を有する複数の信号ラインと、
前記基板上に形成され前記信号ラインとの間に形成された複数の固定電極と、
前記基板上に所定の高さで突設された複数のアンカーと、
前記アンカーに保持され上下遊動できるよう設けられ、同一平面上に設けられた少なくとも2つの作動ビームと、
前記作動ビームを連結する連結ユニットと、
前記連結ユニットを保持すべく前記基板に設けられた保持ユニットと、
前記作動ビームの底面に設けられ、前記スイッチング接点部と接する接触部材と
を含むことを特徴とするMEMSスイッチ。
IPC (3件)：
H01H 47/36
, B81B 3/00
, H01H 49/00
H01H47/36
, B81B3/00
, H01H49/00 L
