ダイヤモンドエミッタアレイ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-322775
公開番号（公開出願番号）：特開2006-134723
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：

【課題】極微細加工を要する微細構造を持たない簡単な構造であり、かつ簡便な製造工程により形成することの可能な、ダイヤモンドエミッタアレイおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。

IPC (2件)：

H01J 1/304 , H01J 9/02

FI (2件)：

H01J1/30 F , H01J9/02 B

Fターム (22件)：

5C127AA01 , 5C127AA04 , 5C127AA05 , 5C127AA20 , 5C127BA09 , 5C127BB06 , 5C127BB20 , 5C127CC03 , 5C127DD09 , 5C127DD42 , 5C127DD67 , 5C127EE02 , 5C127EE15 , 5C135AA09 , 5C135AB06 , 5C135AC03 , 5C135AC05 , 5C135AC07 , 5C135GG03 , 5C135GG08 , 5C135GG20 , 5C135HH15

引用特許：

審査官引用 (8件)

薄膜電子源
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-010952 出願人：株式会社日立製作所
電子放出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-072733 出願人：松下電器産業株式会社
電界放射冷陰極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-270001 出願人：日本電気株式会社

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