特許
J-GLOBAL ID：200903055820454370

ダイヤモンドエミッタアレイ及びその製造方法

発明者：
安藤 寿浩

安藤 寿浩 について

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中川 清晴

中川 清晴 について

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蒲生 美香

蒲生 美香 について

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蒲生 秀典

蒲生 秀典 について


出願人/特許権者：
独立行政法人物質・材料研究機構

独立行政法人物質・材料研究機構 について

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凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-322775
公開番号（公開出願番号）：特開2006-134723
出願日： 2004年11月05日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】極微細加工を要する微細構造を持たない簡単な構造であり、かつ簡便な製造工程により形成することの可能な、ダイヤモンドエミッタアレイおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。
IPC (2件)：
H01J 1/304 ,  H01J 9/02
FI (2件)：
H01J1/30 F ,  H01J9/02 B
Fターム (22件)：
5C127AA01 ,  5C127AA04 ,  5C127AA05 ,  5C127AA20 ,  5C127BA09 ,  5C127BB06 ,  5C127BB20 ,  5C127CC03 ,  5C127DD09 ,  5C127DD42 ,  5C127DD67 ,  5C127EE02 ,  5C127EE15 ,  5C135AA09 ,  5C135AB06 ,  5C135AC03 ,  5C135AC05 ,  5C135AC07 ,  5C135GG03 ,  5C135GG08 ,  5C135GG20 ,  5C135HH15
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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