特許
J-GLOBAL ID:200903056796720019
静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-173710
公開番号(公開出願番号):特開2006-349409
出願日: 2005年06月14日
公開日(公表日): 2006年12月28日
要約:
【課題】 自励発振が早く開始されるようにする。【解決手段】 センサ回路の電源投入時には昇圧回路21の昇圧クロックが起動クロック発生回路25で形成されるようにし、振動子10および駆動回路20で構成されるフィードバックループにて自励発振が開始されるとその後はチャージアンプ回路22の出力信号が昇圧クロックに用いられるようにする。このように、起動クロック発生回路25が発生させる安定した所定の周波数の出力信号を昇圧クロックとして用いることで、昇圧回路21で高電圧が早く形成されるようにすることが可能となる。そして、このように高電圧が早く形成されることから、振動子10および駆動回路20で構成されるフィードバックループにて、早くから自励発振を開始させることも可能となる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
自励発振に基づいて振動させられることでヨーに応じた容量値で示されるヨー検知信号を出力すると共に、前記振動の振幅および周波数に応じた駆動振動検知信号を出力するように構成された振動子(10)と、
所定の電圧を昇圧することで高電圧を発生させる昇圧回路(21)を含み、該昇圧回路(21)で発生させられる高電圧を前記振動子(10)に印加することで前記振動子(10)を振動させると共に、この振動中における前記振動子(10)の前記駆動振動検知信号をフィードバックし、フィードバック結果に応じた制御信号を前記昇圧回路(21)に対して入力することで、前記振動子(10)が所定振幅かつ所定周波数で振動するように前記昇圧回路(21)が前記振動子(10)に印加する前記高電圧を制御するという自励発振のフィードバックループを構成する駆動回路(20)と、
前記振動子(10)が出力するヨー検知信号に基づいて、ヨーに応じた出力信号をセンサ出力として発生させるヨー検出回路(30)とを備えてなる静電駆動・容量検出型の物理量センサのセンサ回路であって、
前記昇圧回路(21)に対して所定の周波数の信号を入力する場合と、前記昇圧回路(21)に対して前記フィードバックループにおける前記制御信号を入力する場合とを切替える切替スイッチ(26)を備え、
前記切替スイッチ(26)にて、電源投入の際には前記昇圧回路(21)に対して所定の周波数の信号が入力され、前記自励発振が開始されると前記昇圧回路(21)に対して前記フィードバックループにおける前記制御信号が入力されるように、前記昇圧回路(21)に入力される昇圧クロックが切替えられるように構成されていることを特徴とする静電駆動・容量検出型のジャイロセンサのセンサ回路。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
2F105BB20
, 2F105CC00
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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励振駆動回路及び方法並びにこれを用いた圧電振動角速度計
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-209242
出願人:株式会社ニコン
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角速度計測装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-093341
出願人:株式会社村田製作所
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増幅回路装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-308891
出願人:トヨタ自動車株式会社
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角速度センサ駆動回路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-085729
出願人:松下電器産業株式会社
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静電駆動の角速度検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-306585
出願人:アイシン精機株式会社
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-078464
出願人:アイシン精機株式会社
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特開平3-159582
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マイクロコンピュータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-117133
出願人:松下電子工業株式会社
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集積回路装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-269788
出願人:松下電器産業株式会社
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