微小球体移載装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：谷義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349347
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168127
出願日： 1999年12月08日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】微小球体を吸着保持する吸着ヘッドの洗浄が面倒な上、微小球体の配列変更に伴う吸着ヘッドの仕様変更が容易ではない。【解決手段】微小球体1を吸引保持するための吸着ピット20が開口する吸着ヘッド11と、吸着ヘッド11が着脱自在に連結されるヘッドホルダ12と、ヘッドホルダ12に形成された吸引チャンバ29に連通して当該吸引チャンバ29内を減圧することにより吸着ピット20に微小球体1を吸引保持させ得る吸引手段と、ヘッドホルダ12が取り付けられるホルダ搬送手段13とを具え、ホルダ搬送手段13は、吸着ピット20に吸引保持される微小球体1を配列したパレット3が搬入される吸引位置と、吸着ピット20に吸引保持された微小球体1を移載するための移載対象物4が搬入される移載位置と、吸着ヘッド11の交換を行うためのヘッド交換位置との間を移動可能である。

請求項（抜粋）：

それぞれ微小球体を吸引保持するための複数の吸着ピットが開口する吸着ヘッドと、この吸着ヘッドが着脱自在に連結されるヘッドホルダと、このヘッドホルダに対して前記吸着ヘッドを取り外し可能に連結する着脱手段と、前記ヘッドホルダに形成されて前記吸着ヘッドが連結された状態で前記吸着ピットに連通する吸引チャンバと、この吸引チャンバに連通して当該吸引チャンバ内を減圧することにより前記吸着ピットに微小球体を吸引保持させ得る吸引手段と、前記ヘッドホルダが取り付けられるホルダ搬送手段とを具え、このホルダ搬送手段は、前記吸着ヘッドの前記吸着ピットに吸引保持される微小球体を配列したパレットが搬入される吸引位置と、前記吸着ヘッドの前記吸着ピットに吸引保持された微小球体を移載するための移載対象物が搬入される移載位置と、前記ヘッドホルダに対して前記吸着ヘッドの交換を行うためのヘッド交換位置との間を移動可能であることを特徴とする微小球体移載装置。

IPC (6件)：

H01L 21/60 , B23K 3/06 , B25J 15/04 , B25J 15/06 , B65G 61/00 , H05K 3/34 505

FI (6件)：

B23K 3/06 H , B25J 15/04 A , B25J 15/06 K , B65G 61/00 , H05K 3/34 505 A , H01L 21/92 604 H

Fターム (20件)：

3C007DS05 , 3C007FS01 , 3C007FT01 , 3C007FU00 , 3C007GS01 , 3C007NS08 , 3C007NS11 , 3C007NS17 , 3F061AA03 , 3F061CA01 , 3F061CB01 , 3F061CC00 , 3F061DA01 , 3F061DB00 , 3F061DB03 , 3F061DB06 , 5E319AC01 , 5E319BB04 , 5E319CD21 , 5E319CD25

引用特許：

審査官引用 (11件)

はんだ供給装置及びはんだ供給方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-067800 出願人：ソニー株式会社
はんだボールの吸着用のパッド
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-113572 出願人：ニッコー株式会社
導電性ボールの搭載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-177616 出願人：松下電器産業株式会社

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