特許
J-GLOBAL ID:200903057711457604

基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 世良 和信 ,  和久田 純一 ,  中村 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-044312
公開番号(公開出願番号):特開2006-292725
出願日: 2006年02月21日
公開日(公表日): 2006年10月26日
要約:
【課題】基板検査装置での基板検査に用いられる検査ロジックを少ないサンプル画像から生成可能な技術を提供する。【解決手段】情報処理装置が、新たな部品の検査ロジックを生成する際に、前記新たな部品の撮像画像を取得し、前記新たな部品の撮像画像から、着目領域の色分布の傾向を表す色分布傾向データを算出し、複数種類の過去の部品のそれぞれについて色分布傾向データを取得し、前記新たな部品に関する色分布傾向データと前記過去の部品に関する色分布傾向データとを比較することにより、色分布傾向が類似する過去の部品を選び出し、選び出された過去の部品の撮像画像を記憶装置から読み出し、前記新たな部品の撮像画像と前記過去の部品の撮像画像とを教師データとして、前記新たな部品の検査ロジックを生成する。【選択図】図7
請求項(抜粋):
基板実装部品の撮像画像における着目領域の色を調べることによって前記部品の実装状態の良否を判定する基板検査装置で用いられる検査ロジックを生成する方法であって、 情報処理装置が、新たな部品の検査ロジックを生成する際に、 前記新たな部品の撮像画像を取得し、 前記新たな部品の撮像画像から、着目領域の色分布の傾向を表す色分布傾向データを算出し、 複数種類の過去の部品のそれぞれについて色分布傾向データを取得し、 前記新たな部品に関する色分布傾向データと前記過去の部品に関する色分布傾向データとを比較することにより、色分布傾向が類似する過去の部品を選び出し、 前記過去の部品の撮像画像を記憶する記憶装置から、前記選び出された過去の部品の撮像画像を読み出し、 前記新たな部品の撮像画像と前記読み出された過去の部品の撮像画像とを教師データとして、前記新たな部品の検査ロジックを生成する基板検査装置の検査ロジック設定方法。
IPC (1件):
G01N 21/956
FI (1件):
G01N21/956 B
Fターム (15件):
2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051EC02 ,  2G051ED21
引用特許:
出願人引用 (12件)
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