特許
J-GLOBAL ID:200903059199987160
切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小谷 悦司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-221773
公開番号(公開出願番号):特開2003-034859
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 TiAlN膜よりも耐摩耗特性に優れた切削工具用硬質皮膜を提供する。【解決手段】 (Alb,[Cr1-αVα]c)(C1-dNd)からなる硬質皮膜であって、0.5≦b≦0.8、0.2≦c≦0.5、b+c=1、0.05≦α≦0.95、0.5≦d≦1(b,cはそれぞれAl,Cr+Vの原子比、dはNの原子比を示し、αはVの原子比を示す。以下同じ)を満たすようにするか、または、(Ma,Alb,[Cr1-αVα]c)(C1-dNd)からなる硬質皮膜であって、Mが、Ti、Nb、W、TaおよびMoよりなる群から選択される少なくとも1種であり、かつ、0.02≦a≦0.3、0.5≦b≦0.8、0.05≦c、a+b+c=1、0.5≦d≦1、0≦α≦1(aはMの原子比を示す)を満たすようにする。但し、MがTiであって、かつαの値が0のものを除く。
請求項(抜粋):
(Alb,[Cr1-αVα]c)(C1-dNd)からなる硬質皮膜であって、0.5≦b≦0.8、0.2≦c≦0.5、b+c=1、0.05≦α≦0.95、0.5≦d≦1(b,cはそれぞれAl,Cr+Vの原子比、dはNの原子比を示し、αはVの原子比を示す。以下同じ)であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
IPC (4件):
C23C 14/06
, B23B 27/14
, B23C 5/16
, C23C 14/34
FI (4件):
C23C 14/06 H
, B23B 27/14 A
, B23C 5/16
, C23C 14/34 A
Fターム (13件):
3C046FF11
, 3C046FF16
, 3C046FF19
, 3C046FF24
, 4K029AA02
, 4K029AA04
, 4K029BA54
, 4K029BB07
, 4K029BD05
, 4K029CA04
, 4K029DD06
, 4K029EA03
, 4K029EA08
引用特許:
審査官引用 (12件)
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被覆工具およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-036567
出願人:住友電気工業株式会社
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被覆硬質部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-034612
出願人:日立ツール株式会社
-
真空アーク蒸発源
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-072174
出願人:株式会社神戸製鋼所
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