特許
J-GLOBAL ID:200903059199987160

切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-221773
公開番号(公開出願番号):特開2003-034859
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 TiAlN膜よりも耐摩耗特性に優れた切削工具用硬質皮膜を提供する。【解決手段】 (Alb,[Cr1-αVα]c)(C1-dNd)からなる硬質皮膜であって、0.5≦b≦0.8、0.2≦c≦0.5、b+c=1、0.05≦α≦0.95、0.5≦d≦1(b,cはそれぞれAl,Cr+Vの原子比、dはNの原子比を示し、αはVの原子比を示す。以下同じ)を満たすようにするか、または、(Ma,Alb,[Cr1-αVα]c)(C1-dNd)からなる硬質皮膜であって、Mが、Ti、Nb、W、TaおよびMoよりなる群から選択される少なくとも1種であり、かつ、0.02≦a≦0.3、0.5≦b≦0.8、0.05≦c、a+b+c=1、0.5≦d≦1、0≦α≦1(aはMの原子比を示す)を満たすようにする。但し、MがTiであって、かつαの値が0のものを除く。
請求項(抜粋):
(Alb,[Cr1-αVα]c)(C1-dNd)からなる硬質皮膜であって、0.5≦b≦0.8、0.2≦c≦0.5、b+c=1、0.05≦α≦0.95、0.5≦d≦1(b,cはそれぞれAl,Cr+Vの原子比、dはNの原子比を示し、αはVの原子比を示す。以下同じ)であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
IPC (4件):
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23C 5/16 ,  C23C 14/34
FI (4件):
C23C 14/06 H ,  B23B 27/14 A ,  B23C 5/16 ,  C23C 14/34 A
Fターム (13件):
3C046FF11 ,  3C046FF16 ,  3C046FF19 ,  3C046FF24 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA54 ,  4K029BB07 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029DD06 ,  4K029EA03 ,  4K029EA08
引用特許:
審査官引用 (12件)
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