特許
J-GLOBAL ID：200903059478450656

液晶表示板用の基板の加熱装置

発明者：
伊藤 敏樹

伊藤 敏樹 について

, 
加納 誉真

加納 誉真 について

, 
野呂 匡志

野呂 匡志 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 高橋 祥泰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295328
公開番号（公開出願番号）：特開2001-117079
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 歪みや脱粉を生ずることがなく,かつ基板との密着性のよい支持プレートを有する液晶表示板用の基板の加熱装置を提供すること。【解決手段】 液晶表示板の製造工程において液晶表示板を構成するガラス基板2を支持するための支持プレート11と,支持プレート11を発熱させることによりガラス基板2を加熱するための発熱手段12とを有する加熱装置1。支持プレート11は,その一部又は全部がカーボン材料からなる。また,支持プレート2の表面には熱分解炭素又はガラス状炭素からなる被膜13が形成されている。また,被膜13の表面粗度は,十点平均粗さ(Rz)10μm以下である。
請求項（抜粋）：
液晶表示板の製造工程において上記液晶表示板を構成する基板を支持するための支持プレートと,該支持プレートを発熱させることにより上記基板を加熱するための発熱手段とを有する加熱装置において,上記支持プレートは,その一部又は全部がカーボン材料からなると共に,その表面には熱分解炭素又はガラス状炭素からなる被膜が形成されており,かつ,該被膜の表面粗度は,十点平均粗さ(Rz)10μm以下であることを特徴とする液晶表示板用の基板の加熱装置。
IPC (6件)：
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1339 505 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/31 D ,  H01L 21/68 N
Fターム (39件)：
2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA06 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H089NA45 ,  2H089NA48 ,  2H089NA60 ,  2H089QA06 ,  2H089QA08 ,  2H089QA12 ,  2H089TA02 ,  2H089TA09 ,  2H089TA12 ,  2H090JA15 ,  2H090JC08 ,  2H090JC11 ,  2H090JD18 ,  2H090LA01 ,  2H090LA04 ,  2H090LA15 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA10 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F045AA08 ,  5F045BB01 ,  5F045EK21 ,  5F045EM09 ,  5F103AA08 ,  5F103BB33 ,  5F103BB42 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103LL13 ,  5F103NN01
引用特許：
審査官引用 (14件)
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