特許
J-GLOBAL ID:200903060641060532

表面疵検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 萩原 康司 ,  金本 哲男 ,  亀谷 美明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-132091
公開番号(公開出願番号):特開2008-286646
出願日: 2007年05月17日
公開日(公表日): 2008年11月27日
要約:
【課題】複数台の撮像手段を使用することなく簡略な構成により、所定の受光角度でしか輝度変化を得ることができないような微小凹凸疵、色調変化疵をリアルタイム検出する疵検査装置を提供する。【解決手段】移動する帯状体の表面に面状光を照射した帯状体面上の2次元照射領域を、前記面状光の入射と対向設置して撮像する2次元撮像装置を備えるとともに、該2次元撮像装置は、前記帯状体の照射領域からの反射光の中で所定の2つ以上の異なる受光角度で特定される反射光のみの画像信号を、前記帯状体の搬送速度に同期させて同時に部分読み出した画素列から得られる画像信号を前記帯状体の長手方向に合成する画像処理装置を備えることで、発生する疵に合わせて複数の受光角度で、精度よくリアルタイム疵検出する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
移動する帯状体の表面に光を照射し、該表面からの反射光を2次元撮像装置で撮像して前記帯状体の表面の疵を検査する表面疵検査装置において、 前記帯状体の面状光照射領域に所定の垂直方向入射角度αで面状光を照射する照明装置と、 該面状光照射領域を挟んで該照明装置と対向配置されて、前記帯状体の移動に同期して前記面状光照射領域の内の複数の部分領域Lnを異なる複数の垂直方向反射角度βnで撮像して、複数の列単位画像を出力する2次元撮像装置と、 前記2次元撮像装置の撮像を制御し、且つ、該複数の列単位画像に基づいて、前記複数の垂直方向反射角度βn毎に前記複数の列単位画像のフレーム画像を構成する制御装置と、 該垂直方向反射角度βn毎のフレーム画像を画像処理して前記帯状体の表面の疵を検出する疵画像処理装置とからなることを特徴とする表面疵検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/892 ,  G06T 1/00
FI (2件):
G01N21/892 B ,  G06T1/00 300
Fターム (18件):
2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051ED30 ,  5B057AA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE08 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (8件)
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