微細加工ガラス及びその加工法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小栗昌平 , 本多弘徳 , 市川利光 , 高松猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-191795
公開番号（公開出願番号）：特開2008-019123
出願日： 2006年07月12日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】ガラスの表面または内部に対し微細なパターンを高精度で効率良く、低コストで形成する。【解決手段】特定のガラス形成酸化物と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移元素及び希土類元素から選ばれる少なくとも1種とを含有するガラス母体に、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、バナジウム、銅から選ばれる少なくとも1種を添加してなるガラスの表面または内部に、局所的な異質層を形成した後、エッチング剤と接触させて前記異質層または該異質層の周囲部分を除去することを特徴とするガラス材料の加工法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

SiO2、GeO2、B2O3、P2O5、TeO2、Ga2O3、MoO3及びWO3から選ばれる少なくとも1種のガラス形成酸化物と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移元素及び希土類元素から選ばれる少なくとも1種とを含有するガラス母体に、チタン、鉄、ニッケル、コバルト、マンガン、バナジウム、銅から選ばれる少なくとも1種を添加してなるガラスの表面または内部に、局所的な異質層を形成した後、エッチング剤と接触させて前記異質層または該異質層の周囲部分を除去することを特徴とするガラス材料の加工法。

IPC (7件)：

C03C 15/00 , C03C 23/00 , C03C 14/00 , G02B 6/13 , G02B 6/12 , G02B 3/00 , G02B 1/02

FI (7件)：

C03C15/00 G , C03C23/00 D , C03C14/00 , G02B6/12 M , G02B6/12 N , G02B3/00 Z , G02B1/02

Fターム (105件)：

2H147EA02C , 2H147EA14C , 2H147EA32C , 2H147EA37C , 2H147EA39C , 2H147FA24 , 2H147FA27 , 2H147FB02 , 2H147FB03 , 2H147FC03 , 2H147FE03 , 2H147FF01 , 2H147FF02 , 2H147FF07 , 2H147GA10 , 4G059AA11 , 4G059AB01 , 4G059AB05 , 4G059AB09 , 4G059AC30 , 4G059BB12 , 4G062AA04 , 4G062BB01 , 4G062BB10 , 4G062CC09 , 4G062CC10 , 4G062DA01 , 4G062DA02 , 4G062DA10 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DC02 , 4G062DD01 , 4G062DD02 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA02 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062EC02 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EF02 , 4G062EG01 , 4G062EG02 , 4G062EG05 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FB02 , 4G062FB04 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FD02 , 4G062FD05 , 4G062FD06 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FG02 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FK02 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA02 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GD02 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH06 , 4G062HH07 , 4G062HH08 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH12 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062KK01 , 4G062KK02 , 4G062KK03 , 4G062KK04 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062MM12 , 4G062NN40 , 4G062QQ08 , 4G062QQ20

引用特許：

出願人引用 (7件)

ガラス系素材のエッチング加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-244199 出願人：有限会社大山光学目盛彫工所
フォトマスク及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-256559 出願人：大日本印刷株式会社
プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-018361 出願人：大日本印刷株式会社

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審査官引用 (3件)

微小穴開きガラス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-118965 出願人：科学技術振興事業団, 近藤裕己
レーザを用いたガラスの加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-046859 出願人：日本板硝子株式会社
レーザを用いたガラスの加工方法および加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-042947 出願人：日本板硝子株式会社

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