特許
J-GLOBAL ID:200903063226567485
液晶表示装置、スパッタリングターゲット材および銅合金
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
福田 賢三
, 福田 伸一
, 福田 武通
, 奥山 雄毅
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2005015699
公開番号(公開出願番号):WO2006-025347
出願日: 2005年08月30日
公開日(公表日): 2006年03月09日
要約:
【課題】 Cuに添加する合金元素が、Cu部材と接触するガス雰囲気あるいは固体に含まれる酸素と優先的に反応して、Cuの酸化を抑止する酸化物被膜を形成することができる高導電性のCu合金を提供する。【解決手段】 不可避的不純物を含む銅(Cu)に対して0.1〜20at.%固溶する添加元素が添加される銅合金であって、前記添加元素は、酸化物形成自由エネルギーがCuより小さく、かつ、Cu中における添加元素の拡散係数がCuの自己拡散係数より大きい銅合金である。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
不可避的不純物を含む銅(Cu)に添加元素が添加されている銅合金であって、
前記添加元素は、酸化物形成自由エネルギー又は酸化物形成エンタルピーの絶対値がCuより大きく、かつ、Cu中における添加元素の拡散係数がCuの自己拡散係数より大きい
ことを特徴とする銅合金。
IPC (3件):
C22C 9/00
, G02F 1/134
, G09F 9/30
FI (3件):
C22C9/00
, G02F1/1343
, G09F9/30 338
Fターム (20件):
2H092HA06
, 2H092JA24
, 2H092JB24
, 2H092JB33
, 2H092KB04
, 2H092MA05
, 2H092MA25
, 2H092NA11
, 2H092NA27
, 2H092NA30
, 5C094AA21
, 5C094AA31
, 5C094AA43
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094EA00
, 5C094EA04
, 5C094FB12
, 5C094JA08
, 5C094JA20
引用特許:
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