特許
J-GLOBAL ID：200903063921900276

表示装置及びその作製方法

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
納 光明

納 光明 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-327039
公開番号（公開出願番号）：特開2004-139057
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】 配線抵抗による電圧降下の影響や画素への信号の書き込み不良や階調不良などを防止し、より高画質のEL表示装置や液晶表示装置を代表とする表示装置を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明はEL表示装置や液晶表示装置を代表とする表示装置に用いられる電極や配線として、Cuを有する配線を設ける。また、該配線のCuを主成分とする導電膜は、マスクを用いたスパッタ法により形成する。このような構成により、電圧降下や信号のなまりを低減することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
導電性バリア膜と、Cuを主成分とする導電膜とが積層されたCuを有する配線を有し、 前記導電性バリア膜の上面と、前記Cuを主成分とする導電膜の上面とは一致しないことを特徴とする表示装置。
IPC (12件)：
G09F9/30 ,  G02F1/1343 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/3205 ,  H01L29/417 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 ,  H05B33/26
FI (17件)：
G09F9/30 330Z ,  G09F9/30 338 ,  G02F1/1343 ,  H01L21/28 301R ,  H01L21/285 S ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/26 Z ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 617L ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G ,  H01L21/88 R
Fターム (156件)：
2H092GA34 ,  2H092GA42 ,  2H092HA06 ,  2H092JA40 ,  2H092JA44 ,  2H092JB33 ,  2H092JB35 ,  2H092JB57 ,  2H092KA18 ,  2H092KB04 ,  2H092KB24 ,  2H092MA05 ,  2H092MA12 ,  2H092MA17 ,  2H092NA25 ,  2H092NA28 ,  3K007AB17 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007GA00 ,  4M104AA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB14 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB34 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD12 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD20 ,  4M104DD37 ,  4M104DD39 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE14 ,  4M104EE17 ,  4M104FF06 ,  4M104FF18 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104HH16 ,  5C094AA02 ,  5C094AA21 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094EA07 ,  5C094FB12 ,  5C094HA06 ,  5C094HA08 ,  5F033GG04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033HH36 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033JJ36 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK04 ,  5F033KK08 ,  5F033KK18 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033KK34 ,  5F033KK36 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033MM17 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN32 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR05 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR27 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033SS21 ,  5F033TT02 ,  5F033TT04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX10 ,  5F110AA03 ,  5F110AA28 ,  5F110BB02 ,  5F110BB03 ,  5F110CC02 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE27 ,  5F110EE37 ,  5F110EE44 ,  5F110FF01 ,  5F110FF04 ,  5F110GG02 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL12 ,  5F110HL14 ,  5F110HL23 ,  5F110HM02 ,  5F110HM13 ,  5F110HM15 ,  5F110HM19 ,  5F110NN03 ,  5F110NN05 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN71 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ09
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (12件)
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