特許
J-GLOBAL ID：200903063319800511
化学増幅型ポジ型レジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083605
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275843
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 基板への接着性やドライエッチング耐性に優れるとともに、感度や解像度も改良された化学増幅型のポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 メタクリル酸2-ヒドロキシエチルの重合単位及び酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用により上記酸に不安定な基が解裂した後はアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物が提供される。この樹脂はまた、他の単位、例えば(メタ)アクリル酸3-ヒドロキシ-1-アダマンチル、ラクトン環がアルキルで置換されてもよいα-(メタ)アクリロイロキシ-γ-ブチロラクトン、無水マレイン酸などのモノマーの重合単位を有してもよい。
請求項（抜粋）：
メタクリル酸2-ヒドロキシエチルの重合単位及び酸に不安定な基を持つ重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用により上記酸に不安定な基が解裂した後はアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA09
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025CB52
, 2H025CC20
