特許
J-GLOBAL ID：200903064027491867
金属材料のエッチング液及びエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-340623
公開番号（公開出願番号）：特開2004-175839
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】サイドエッチを優先的に抑制する調整された有機化合物を添加剤として加えることで、良好なエッチファクターが得られるエッチング液及びエッチング方法を提供することを目的とする。【解決手段】塩化第2銅と、塩酸と、界面活性剤、酸化防止剤等の有機化合物とで構成されており、エッチング液中の有機化合物の拡散係数を0.1〜1.00×10-5cm2/secの範囲に調整することにより、この有機化合物を被加工物である金属材料のエッチング側面に優先吸着させ、水平方向のエッチングを抑制し、特に、開口幅が20μm以下のパターンエッチングでエッチングファクタ(EF)の大きいエッチング加工ができるようにしたエッチング液を用いて金属材料をエッチングする。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
少なくとも塩化第2銅と、塩酸と、有機化合物とからなるエッチング液であって、前記エッチング液中の有機化合物の拡散係数が0.1〜1.00×10-5cm2/secの範囲にあることを特徴とするエッチング液。
IPC (3件)：
C09K13/06
, C23F1/18
, C23F1/28
C09K13/06
, C23F1/18
, C23F1/28
4K057WA11
, 4K057WB02
, 4K057WB03
, 4K057WB04
, 4K057WE08
, 4K057WF10
, 4K057WL10
, 4K057WN01
, 4K057WN02
, 4K057WN03
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339BE17
, 5E339FF10
