特許
J-GLOBAL ID：200903064558847488
グレートーンマスク及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-290108
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010814
出願日： 2004年10月01日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】 半透光膜の膜厚の均一性が高いグレートーンマスクを提供する。【解決手段】 遮光部1と、透光部2と、露光光の一部を透過するグレートーン部3とを有するグレートーンマスクであって、グレートーン部3を通過する光を低減し、このグレートーン部3を介して露光したフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的としたLCD用又はPDP用大型グレートーンマスクにおいて、遮光部1が、透明基板上に順次形成された半透光膜、エッチングストッパー膜、遮光膜を含み、グレートーン部3が、透明基板上に形成された半透光膜及びエッチングストッパー膜を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
遮光部と、透光部と、露光光の一部を透過するグレートーン部とを有するグレートーンマスクであって、該グレートーン部を通過する光を低減し、このグレートーン部を介して露光したフォトレジストの膜厚を選択的に変えることを目的としたLCD用又はPDP用大型グレートーンマスクにおいて、
前記遮光部が、透明基板上に順次形成された半透光膜、エッチングストッパー膜、遮光膜を含み、前記グレートーン部が、前記透明基板上に形成された半透光膜及びエッチングストッパー膜を含むことを特徴とするグレートーンマスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
2H095BA12
, 2H095BB01
, 2H095BB15
, 2H095BB17
, 2H095BC08
, 2H095BC19
