複屈折分散計測装置および複屈折分散計測方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アイアット国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-050991
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241406
出願日： 2004年02月26日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】複屈折分散に起因する複屈折位相差の波長依存性や複屈折分散下での主軸方位を、短時間で特定すること。【解決手段】位相シフタ4が、2つの1/4波長板4a,4bと、1/4波長板4a,4bの間に配置され所定の回転速度で回転する1/2波長板4cとを有し、測定対象101を通過した光の位相を変調し、検光子5が、1/2波長板4cの2倍の回転速度で同期して回転し、位相シフタ4を通過した光を直線偏光とする。そして、分光器6が、その直線偏光の光を波長に応じて分離し、光検出器7が、分光後の光を受光し波長ごとの電気信号に変換する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象の複屈折分散を計測する複屈折分散計測装置において、測定対象へ円偏光を入射させる入射手段と、 2つの1/4波長板と、該2つの1/4波長板の間に配置され所定の回転速度で回転する1/2波長板とを有し、測定対象を通過した光の位相を変調する位相シフタと、上記位相シフタを通過した光が入射し、上記1/2波長板の2倍以上の所定の整数倍の回転速度で同期して回転する偏光子と、上記偏光子を通過した光を受光する受光手段と、を備えることを特徴とする複屈折分散計測装置。

IPC (4件)：

G01N21/23 , G01J4/04 , G01M11/00 , G02B5/30

FI (4件)：

G01N21/23 , G01J4/04 A , G01M11/00 T , G02B5/30

Fターム (25件)：

2G059AA02 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE04 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059GG04 , 2G059GG10 , 2G059JJ01 , 2G059JJ05 , 2G059JJ06 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM09 , 2G059MM10 , 2G059PP04 , 2G086EE09 , 2H049BA02 , 2H049BA06 , 2H049BB03 , 2H049BB05 , 2H049BC23

引用特許：

出願人引用 (2件)

複屈折測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-174801 出願人：有限会社ユニオプト
波長依存性を考慮した複屈折測定装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-373232 出願人：有限会社ユニオプト, 大谷幸利

審査官引用 (4件)

複屈折評価装置および複屈折評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-322866 出願人：有限会社ユニオプト
広帯域分光回転補償器楕円偏光計
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-507247 出願人：サーマ-ウェイブ・インク
複屈折測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-083598 出願人：旭光学工業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (3件)

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