特許
J-GLOBAL ID：200903065519567156

基板収納装置

発明者：
湯浅 光博

湯浅 光博 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-175872
公開番号（公開出願番号）：特開2004-022816
出願日： 2002年06月17日
公開日（公表日）： 2004年01月22日
要約：
【課題】研削されることによって薄くなった基板を収納するための基板収納装置において、ウェハ自重による反りと、ウェハに形成される膜応力による反りの両方を防止し、ウェハの安定した収納・搬送が可能となることを課題とする。【解決手段】装置本体10aに設けられ基板が収納されるウェハ収納部10cと、ウェハを載置するウェハ載置面11と、ウェハの吸着部12および13を設けたウェハ収納カセットによって、薄くなったウェハを反りや割れが生じることなく安定に収納する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
装置本体に設けられ基板が収納される基板収納部と、 前記基板を載置する基板載置面と、 前記基板を前記基板載置面に略全面吸着する吸着機構とを設けたことを特徴とする基板収納装置。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B65D85/86
FI (2件)：
H01L21/68 V ,  B65D85/38 R
Fターム (26件)：
3E096AA04 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA08 ,  3E096DA04 ,  3E096DA09 ,  3E096DA13 ,  3E096DA17 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA40 ,  3E096GA05 ,  3E096GA12 ,  3E096GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031EA19 ,  5F031JA10 ,  5F031JA21 ,  5F031JA47 ,  5F031MA22 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (10件)
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