特許
J-GLOBAL ID：200903066292858821
シート状プローブおよびその製造方法並びにその応用
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-143824
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003346
出願日： 2005年05月17日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
【課題】 径が小さい表面電極部を形成することができ、小さいピッチで電極が形成された回路装置にも安定な電気的接続状態が確実に達成され、電極構造体が絶縁膜から脱落せず、高い耐久性が得られるシート状プローブおよびその製造方法並びにその応用の提供。【解決手段】 本発明のシート状プローブは、柔軟な絶縁膜に、その厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体が当該絶縁膜の面方向に互いに離間して配置されてなる接点膜を有し、電極構造体の各々は、絶縁膜の表面に露出し、当該絶縁膜の表面から突出する表面電極部と、絶縁膜の裏面に露出する裏面電極部と、表面電極部および裏面電極部の各々に直結されてこれらを電気的に接続する、絶縁膜の厚み方向に伸びる短絡部と、表面電極部の基端部分に形成された、前記絶縁膜の面方向に伸びる保持部とよりなり、保持部は、その少なくとも一部が絶縁膜に埋め込まれていることを特徴とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
柔軟な絶縁膜に、その厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体が当該絶縁膜の面方向に互いに離間して配置されてなる接点膜を有するシート状プローブであって、
前記電極構造体の各々は、前記絶縁膜の表面に露出し、当該絶縁膜の表面から突出する表面電極部と、前記絶縁膜の裏面に露出する裏面電極部と、前記表面電極部および前記裏面電極部の各々に直結されてこれらを電気的に接続する、前記絶縁膜の厚み方向に伸びる短絡部と、前記表面電極部の基端部分に形成された、前記絶縁膜の面方向に伸びる保持部とよりなり、
前記保持部は、その少なくとも一部が絶縁膜に埋め込まれていることを特徴とするシート状プローブ。
IPC (4件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H01R 11/01
G01R1/073 F
, G01R31/26 J
, H01L21/66 B
, H01R11/01 501C
2G003AA07
, 2G003AA10
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G011AA16
, 2G011AA17
, 2G011AA21
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106DD04
, 4M106DD10
