特許
J-GLOBAL ID：200903067329173812
大気圧プラズマ発生方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-149084
公開番号（公開出願番号）：特開2007-323812
出願日： 2006年05月30日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：
【課題】プラズマを発生する反応空間に対して遠近方向に、また平面的にも広い範囲でプラズマ処理が可能な大気圧プラズマを小さな入力電力で発生することができる大気圧プラズマ発生方法及び装置を提供する。【解決手段】反応空間1に第1の不活性ガス5を供給するとともに高周波電源4から高周波電界を印加することで、反応空間1からプラズマ化した第1の不活性ガスから成る一次プラズマ6を吹き出させ、この一次プラズマ6が衝突するように、第2の不活性ガスを主とし適量の反応性ガスを混合した混合ガス8が存在する混合ガス領域10を形成し、プラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ11を発生させるようにした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
反応空間に第1の不活性ガスを供給するとともに高周波電界を印加し、反応空間からプラズマ化した第1の不活性ガスから成る一次プラズマを吹き出させるプラズマ発生工程と、一次プラズマが衝突するように第2の不活性ガスを主とし適量の反応性ガスを混合した混合ガス領域を形成し、プラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマを発生させるプラズマ展開工程とを有することを特徴とする大気圧プラズマ発生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BB05
, 4G075BC04
, 4G075BC06
, 4G075CA51
, 4G075CA63
, 4G075DA02
, 4G075DA18
, 4G075EB43
, 4G075ED20
出願人引用 (3件)
審査官引用 (10件)
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