特許
J-GLOBAL ID：200903068445080232

研磨液組成物

発明者：
北山 博昭

北山 博昭 について

, 
藤井 滋夫

藤井 滋夫 について


出願人/特許権者：
花王株式会社

花王株式会社 について


代理人 (1件)： 細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-270150
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023266
出願日： 2003年07月01日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】 高い研磨速度を持ち、被研磨基板のうねり低減可能な研磨液組成物、また、該研磨液組成物を用いた被研磨基板のうねり低減方法、及び該研磨液組成物を用い、うねりを低減させた高品質の基板の製造方法を提供すること。【解決手段】 α-アルミナ、中間アルミナ、酸化剤及び水を含有する研磨液組成物、該研磨液組成物を用いて、被研磨基板のうねりを低減する方法、並びに前記研磨液組成物を用いて、被研磨基板を研磨する工程を有する基板の製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
α-アルミナ、中間アルミナ、酸化剤及び水を含有する研磨液組成物。
IPC (6件)：
C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09K13/00 ,  G11B5/84 ,  G11B7/26 ,  G11B11/105
FI (7件)：
C09K3/14 550D ,  C09K3/14 550Z ,  B24B37/00 H ,  C09K13/00 ,  G11B5/84 A ,  G11B7/26 ,  G11B11/105 546E
Fターム (12件)：
3C058AA07 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17 ,  5D075GG06 ,  5D075GG16 ,  5D112AA02 ,  5D112BA06 ,  5D112GA14 ,  5D121AA02 ,  5D121GG22 ,  5D121GG28
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特開平3-115383号公報
  • 混成研磨用スラリー
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-077989   出願人：プラクスエアーエスティーテクノロジーインコーポレーテッド
  • 研磨液組成物
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-133650   出願人：花王株式会社
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審査官引用 (7件)
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