ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造方法及び電子部品

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-054300
公開番号（公開出願番号）：特開2004-062142
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】酸条件下で脱離可能な保護基にてアルカリ可溶性基を保護した溶解性変換剤を用いることで、感度、解像度に優れるうえ、感光性を付与するポリベンゾオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体がいかなる構造であっても充分に対応でき、かつ分子末端に熱重合性の官能基を持つ有機基を持つポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体に、放射線の照射により上記溶解性変換剤中の保護基の脱離反応を誘発できる化合物を配合することによって、従来からのフォトレジストが有する前記問題を解決し、しかも接着性、耐熱性に富んだポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)分子末端に熱で重合しうる官能基を持つ有機基を有するポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体から選ばれるポリマー前駆体、(B)活性光線照射により酸を発生する化合物、(C)酸触媒作用で分解し水素原子に変換し得る有機基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)分子末端に熱で重合しうる官能基を持つ有機基を有するポリオキサゾール前駆体又はポリイミド前駆体から選ばれるポリマー前駆体、(B)活性光線照射により酸を発生する化合物、(C)酸触媒作用で分解し水素原子に変換し得る有機基を有する化合物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F7/039 , C08F299/00 , C08G73/12 , C08G73/22 , G03F7/037 , G03F7/40 , H01L21/027

FI (7件)：

G03F7/039 601 , C08F299/00 , C08G73/12 , C08G73/22 , G03F7/037 , G03F7/40 501 , H01L21/30 502R

Fターム (79件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J027AD01 , 4J027AD04 , 4J027AH03 , 4J027BA01 , 4J027CA21 , 4J027CA26 , 4J027CB10 , 4J027CC02 , 4J027CC03 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 4J043PA01 , 4J043PA15 , 4J043PB02 , 4J043PB04 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA12 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA042 , 4J043UA082 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA262 , 4J043UB011 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB291 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043XA13 , 4J043YA06 , 4J043ZA12 , 4J043ZA16 , 4J043ZA31 , 4J043ZA41 , 4J043ZB11 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (11件)

ポジ型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-148562 出願人：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
ポジティブ型感光性ポリイミド前駆体およびこれを含む組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-401122 出願人：三星電子株式会社
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-140785 出願人：旭化成工業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

最新ポリイミド〜基礎と応用〜, 20020128, 254-262
躍進するポリイミドの最新動向II, 200012, 100-101

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